| 年月 | 沿革 |
| 1912年11月 | 東京帝国大学井口在屋博士を主幹、畠山一清が所長となり、ゐのくち式機械事務所を創立[創業]。 |
| 1920年5月 | 荏原製作所を設立。工場を東京府荏原郡品川町に設け、ゐのくち式機械事務所の事業を継承し、渦巻ポンプ等の製造を開始。 |
| 1938年4月 | 東京市蒲田区羽田に羽田工場を建設し、品川より本社及び工場を移転。 |
| 1941年12月 | 川崎工場を新設。 |
| 1945年4月 | 戦災により羽田工場は、ポンプ試験場、製缶工場及び本館を除き使用不能と化したため、川崎工場に生産を移管。 |
| 1955年1月 | 生産の主力を羽田工場に復帰。 |
| 1956年1月 | 水処理装置の製造及び販売を目的として、荏原インフィルコ株式会社を設立。 |
| 1964年4月 | 戦後初の海外事務所をタイ・バンコクに開設。 |
| 1964年6月 | 製品のアフターサービスを目的として、荏原サービス株式会社を設立。 |
| 1965年5月 | 藤沢工場を新設。日本で初めて標準ポンプ量産体制を確立。また冷凍機生産を羽田工場より移管。 |
| 1975年1月 | 戦後初の海外生産拠点としてブラジルに Ebara Industrias Mecanicas e Comercio Ltda.(現 EBARA BOMBAS AMÉRICA DO SUL LTDA.)を設立。 |
| 1975年11月 | 袖ヶ浦工場を新設し、主としてコンプレッサ及びタービンの製造を開始。 |
| 1979年12月 | 東南アジアにおける標準ポンプの生産拠点として、インドネシアにPT. Ebara Indonesiaを設立。 |
| 1981年1月 | 北米のポンプ事業拠点として、米国にEbara International Corporationを設立。 |
| 1986年1月 | 川崎工場を藤沢工場に統合し、生産体制の再編成を実施。 |
| 1987年7月 | 藤沢工場内に精密機械工場を建設し、半導体産業向け真空機器の生産を開始。 |
| 1989年1月 | ステンレスプレス製標準ポンプの生産拠点として、イタリアにEbara Italia S.p.A.(現 Ebara Pumps Europe S.p.A.)を設立。 |
| 1992年8月 | 各種ボイラ等製缶品の生産拠点として、中国に青島荏原環境設備有限公司を設立。 |
| 1994年10月 | 荏原インフィルコ株式会社を吸収合併。 |
| 2000年4月 | 汎用風水力機械の営業部門を分離の上、荏原サービス株式会社に統合し、荏原テクノサーブ株式会社として営業開始。 |
| 2000年4月 | コンプレッサ・タービン事業大手のElliott Company(米国)を完全子会社化。 |
| 2001年6月 | CMP装置等の生産拠点として設立した株式会社荏原九州(熊本県)が操業を開始。 |
| 2002年4月 | コンプレッサ・タービン事業を分社化、株式会社荏原エリオット(千葉県)を設立。 |
| 2002年9月 | 冷熱機械事業を分社化、荏原冷熱システム株式会社を設立。 |
| 2003年5月 | 中国におけるAPIポンプの生産販売拠点として、嘉利特荏原ポンプ業有限公司を設立。 |
| 2005年4月 | カンパニー制を導入。本社機能を担うコーポレートと、風水力機械、環境事業、精密・電子事業の3カンパニー体制とする。 |
| 2005年8月 | 中国における大型・高圧ポンプの生産販売拠点として、荏原博ポンプポンプ業有限公司(現 荏原機械シ博有限公司)を設立。 |
| 2006年5月 | 中国における標準ポンプの生産・販売・サービス拠点として、荏原機械(中国)有限公司を発足。 |
| 2009年4月 | グループ内の水処理事業を荏原エンジニアリングサービス株式会社へ統合。 |
| 2009年10月 | グループ内の廃棄物処理事業を荏原環境プラント株式会社へ統合。 |
| 2010年1月 | 富津工場を新設し、羽田工場の機能を移転。 |
| 2010年3月 | 荏原エンジニアリングサービス株式会社(現 水ing株式会社)を、三菱商事株式会社、日揮株式会社との三社提携による総合水事業会社とする。 |
| 2010年10月 | 株式会社荏原九州を吸収合併。 |
| 2012年4月 | ポンプ事業のグループ内再編として、荏原テクノサーブ株式会社、株式会社荏原由倉ハイドロテック及び株式会社荏原環境テクノ北海道の三社を吸収合併。 |
| 2014年3月 | 中東におけるポンプの販売・サービス拠点として、アラブ首長国連邦にEbara Pumps Middle East FZE を設立。 |
| 2015年6月 | 指名委員会等設置会社へ移行。 |
| 2015年8月 | インドネシアの回転機械のメンテナンス会社 PT. Turbindo Chikara Surya(現 PT. Ebara Turbomachinery Services Indonesia)を買収。 |
| 2015年12月 | ブラジルのポンプメーカ Thebe Bombas Hidráulicas S.A.(EBARA BOMBAS AMÉRICA DO SUL LTDA.を存続会社とする吸収合併により消滅)を買収。 |
| 2016年11月 | 熊本事業所内に半導体製造装置の生産工場及びドライ真空ポンプのサービス工場を増設竣工。 |
