| 1985年1月 | 広島県福山市曙町一丁目121番地の1に株式会社アドテックを設立(資本金4,300千円) |
| 各種コントロール基板の開発製造 |
| 1990年5月 | 本社を広島県福山市曙町一丁目121番地の1から広島県福山市引野町五丁目6番10号(現在地)に移転 |
| 7月 | 半導体製造装置プロセスコントロール用CPUユニット・アナログユニット開発 |
| 1991年2月 | 半導体プロセス用のプラズマ用高周波電源販売開始 |
| 半導体プロセス用の自動インピーダンス整合装置(マッチングユニット)販売開始 |
| 1995年4月 | 大阪営業所を大阪府大阪市中央区に開設 |
| 1996年4月 | 東京営業所を東京都千代田区に開設 |
| 6月 | カスタマーサポートセンターを広島県福山市に開設 |
| 8月 | Adtec Technology,Inc.(現 連結子会社)を米国カリフォルニア州ミルピタス市(現フリーモント市)に設立 |
| 11月 | 大阪営業所を大阪府大阪市浪速区に移転 |
| 1997年3月 | ビジュアルマッチングユニットAMVシリーズ販売開始 |
| 1998年3月 | 大阪営業所を閉鎖 |
| 1999年10月 | パーツセンターを広島県福山市に開設 |
| 11月 | 米国装置メーカーへの装置標準化採用が決定し、プラズマ用高周波電源7.5Kwを開発・販売開始 |
| 2000年5月 | テクニカルセンターを広島県福山市に開設 |
| 8月 | Adtec Europe Limited(現 連結子会社)を英国ロンドン市ハウンスロウ区に設立 |
| 12月 | 商号を株式会社アドテックから株式会社アドテック プラズマ テクノロジーに変更 |
| 2001年4月 | 東京営業所を神奈川県横浜市港北区に移転(現 神奈川県川崎市に移転) |
| 2003年1月 | デザインセンターを広島県福山市に開設 |
| 5月 | ISO9001:2000認証取得(本社、パーツセンター、テクニカルセンター、デザインセンター) |
| (プラズマ用高周波電源、インピーダンス整合装置及び高周波電力測定装置の設計、製造) |
| 2004年7月 | 東京証券取引所マザーズ市場に株式を上場 |
| 12月 | 株式会社IDX(現 連結子会社)を株式取得により子会社化 |
| 2005年1月 | イノベーションセンターを広島県福山市に開設 |
| 2011年5月 | Phuc Son Technology Co.,Ltd.(現 連結子会社)をベトナムバクニン省バクニン市に設立 |
| Hana Technology Co.,Ltd.(現 連結子会社)を韓国京畿道富川市に設立 |
| 2014年8月 | 愛笛科技有限公司(現 連結子会社)を台湾新竹縣竹北市に設立 |
| 2015年1月 | 東京証券取引所市場第二部へ上場市場を変更 |
| 2016年4月 | 蘇州啐啄電子有限公司(現 連結子会社)を中国江蘇省蘇州市に設立 |
| 2018年2月 | 東京テクニカルセンターを神奈川県横浜市西区に移設 |
