当社は、1978年10月に株式額面500円を50円に変更するため、その全株式を所有し、管理していました休業中の東京エレクトロン㈱(旧 桜洋行㈱ 資本金180万円)に形式上吸収合併されることにより、株式額面の変更を行いました。
形式上の存続会社、東京エレクトロン㈱(旧 桜洋行㈱)は、合併以前は営業活動を行っておらず、合併後は被合併会社の実体をそのまま継続して営業を行っておりますので、合併以前は被合併会社について記載しております。

1963年11月	㈱東京放送の関係会社として東京都港区に㈱東京エレクトロン研究所を設立(資本金5百万円)。VTR、カーラジオ等の輸出及び電子機器関係の輸入業務を開始
1972年 4月	Tokyo Electron America, Inc.(旧 TEL America, Inc.)設立
1978年10月	株式の額面金額を500円から50円に変更するため、東京エレクトロン㈱(旧 桜洋行㈱)に形式上合併される
1980年 6月	東京証券取引所市場第二部上場
1984年 2月	㈱テルメック(1970年8月設立)を合併
1984年 3月	東京証券取引所市場第一部へ指定替え
1990年 1月	テル・ジェンラッド㈱(1981年9月設立)の全株式を取得し、テル山梨㈱(1983年7月設立、旧 テル・ラム㈱)に吸収合併(新会社名 東京エレクトロン山梨㈱)
1990年 8月	東京エレクトロンFE㈱設立
1990年 9月	東京エレクトロン デバイス㈱(1986年3月設立、旧 テル管理サービス㈱)が電子部品販売を開始
1993年 4月	東京エレクトロン相模㈱(1968年2月設立、旧 テル・サームコ㈱)と東京エレクトロン東北㈱(1986年7月設立、旧 テル東北エレクトロニクス㈱)を合併(新会社名 東京エレクトロン東北㈱)
1993年 4月	東京エレクトロン佐賀㈱(1991年4月設立)と東京エレクトロン九州㈱(1987年1月設立、旧 テル九州㈱)を合併(新会社名 東京エレクトロン九州㈱)
1993年 9月	Tokyo Electron Korea Ltd.(旧 Tokyo Electron FE Korea Ltd.)設立
1994年 4月	欧州(英国)現地法人Tokyo Electron Europe Ltd.設立
1996年 1月	Tokyo Electron Taiwan Ltd.設立
2001年 4月	東京エレクトロン山梨㈱と東京エレクトロン宮城㈱(1997年4月設立)を合併(新会社名 東京エレクトロンAT㈱)
2002年 1月	中国現地法人Tokyo Electron (Shanghai) Logistic Center Ltd.(旧 Tokyo Electron (Shanghai) Ltd.)設立
2003年 3月	東京エレクトロン デバイス㈱東京証券取引所上場
2003年 4月	中国現地法人Tokyo Electron (Shanghai) Ltd.設立
2003年 8月	TEL Technology Center, America, LLC設立
2003年10月	東京エレクトロン リース㈱(1973年5月設立)と東京エレクトロン ロジスティクス㈱(1968年6月設立)を合併(新会社名 東京エレクトロンBP㈱)
2004年 4月	東京エレクトロンAT㈱と東京エレクトロン東北㈱を合併(新会社名 東京エレクトロンAT㈱)
2004年 7月	Tokyo Electron U.S. Holdings, Inc.設立
2006年 6月	米国現地法人TEL Venture Capital, Inc.設立
2006年12月	米国法人Epion Corporationの全株式取得(新会社名 TEL Epion Inc.)
2011年 1月	中国現地法人Tokyo Electron (Kunshan) Ltd.設立
2011年 4月	東京エレクトロンAT㈱の事業の一部を吸収分割により東京エレクトロン宮城㈱(2010年7月設立)に承継
2011年 4月	東京エレクトロンAT㈱の商号を東京エレクトロン山梨㈱に変更
2011年 4月	東京エレクトロンFE㈱と東京エレクトロンPS㈱(2007年2月設立)を合併(新会社名 東京エレクトロンFE㈱)
2012年 4月	Tokyo Electron Singapore Pte. Ltd.設立
2012年 4月	Tokyo Electron Korea Ltd.とTokyo Electron Korea Solution Ltd.(2006年2月設立)を合併(新会社名 Tokyo Electron Korea Ltd.)
2012年10月	米国法人FSI International, Inc.の全株式取得(新会社名 TEL FSI, Inc.)
2012年11月	スイス法人Oerlikon Solar Holding AGの全株式取得(新会社名 TEL Solar Holding AG)
2012年12月	アイルランド法人Magnetic Solutions Ltd.の全株式取得(新会社名 TEL Magnetic Solutions Ltd.)
2013年 4月	東京エレクトロン ソフトウェア・テクノロジーズ㈱(1991年4月設立)を合併
2013年 4月	東京エレクトロン技術研究所㈱(2007年6月設立)を合併
2013年 4月	Tokyo Electron America, Inc.とTimbre Technologies, Inc.(2001年2月設立)を合併(新会社名 Tokyo Electron America, Inc.)
2014年 4月	東京エレクトロン デバイス㈱株式の一部を売却し、当社の連結子会社から持分法適用関連会社へ異動
2016年 2月	東京エレクトロン山梨㈱と東京エレクトロンTS㈱(2006年4月設立)を合併(新会社名 東京エレクトロン山梨㈱)
2017年 7月	東京エレクトロン山梨㈱と東京エレクトロン東北㈱(2006年4月設立)を合併(新会社名 東京エレクトロン テクノロジーソリューションズ㈱)
2018年10月	2012年5月に取得した米国現地法人TEL NEXX, Inc. (旧 NEXX Systems, Inc.)の全株式を売却