大株主	2025/09	2025/03	2024/09	2024/03	2023/09	2023/03	2022/09	2022/03	2021/09	2021/03	2020/09	2020/03	2019/09	2019/03	2018/09	2018/03	2017/09	2017/03	2016/09	2016/03	2015/09	2015/03	2014/09	2014/03
東京エレクトロン株式会社	1位 33.82%	1位 33.82%	1位 33.82%	1位 33.82%	1位 33.82%	1位 33.82%	1位 33.82%	1位 33.82%	1位 33.82%	1位 33.82%	1位 33.82%	1位 33.82%	1位 33.82%	1位 33.82%	1位 33.82%	1位 33.82%	1位 33.82%	1位 33.82%	1位 33.82%	1位 33.82%	1位 33.82%	1位 33.82%	1位 33.33%	1位 55.42%
日本マスタートラスト信託銀行株式会社(信託口)	2位 6.94%	2位 7.78%	2位 7.4%	2位 7.38%	2位 9.13%	2位 10.03%	2位 8.5%	2位 7.94%	2位 8.21%	2位 6.18%	2位 5.97%	3位 3.61%	3位 2.98%	3位 3.31%	3位 3.13%	3位 2.83%	4位 2.26%	5位 1.62%	5位 1.54%	6位 1.34%	6位 0.83%	8位 0.62%	5位 0.58%	6位 0.39%
東京エレクトロンデバイス社員持株会	3位 5.55%	3位 5.3%	3位 5.16%	3位 5%	3位 4.99%	3位 4.84%	3位 4.68%	3位 4.64%	3位 4.57%	3位 4.84%	3位 4.65%	2位 4.53%	2位 4.36%	2位 4.08%	2位 4.04%	2位 3.85%	2位 4.11%	2位 4.12%	2位 4.02%	2位 4.05%	2位 3.96%	2位 4.15%	2位 4.45%	2位 4.59%
野村信託銀行株式会社(東京エレクトロンデバイス社員持株会専用信託口)	4位 2.35%	4位 2.67%	10位 0.63%	9位 0.82%	8位 0.97%	7位 1.19%	5位 1.44%	5位 1.68%	5位 1.86%	5位 2.06%	5位 2.31%	4位 2.58%
日本マスタートラスト信託銀行株式会社(役員報酬BIP信託口・76625口)	5位 1.51%	7位 1.13%	6位 1.13%	6位 1.19%	6位 1.19%	6位 1.22%	7位 1.22%	7位 1.22%	7位 1.22%
日本マスタートラスト信託銀行株式会社(株式付与ESOP信託口・76616口)	6位 1.32%	8位 0.97%	7位 0.98%	8位 0.98%	7位 0.98%	9位 0.98%	8位 0.98%	8位 0.98%	8位 0.98%
日本マスタートラスト信託銀行株式会社(役員報酬BIP信託口・75723口)	7位 1.07%	6位 1.18%	5位 1.18%	5位 1.26%	5位 1.26%	5位 1.36%	6位 1.36%	6位 1.36%	6位 1.36%	6位 1.36%	7位 1.36%	7位 1.45%	6位 1.45%	6位 1.45%	7位 1.45%	7位 1.45%	8位 1.45%	6位 1.5%	6位 1.5%	5位 1.5%	5位 1.5%	4位 1.51%
株式会社日本カストディ銀行(信託口)	8位 0.95%	5位 1.6%	4位 3%	4位 2.65%	4位 2.63%	4位 2.91%	4位 2.67%	4位 2.03%	4位 3.64%	4位 4.09%	4位 3.42%
JP MORGAN CHASE BANK 385781	9位 0.75%		8位 0.78%				9位 0.74%	9位 0.74%	9位 0.67%
STATE STREET BANK WEST CLIENT-TREATY 505234	10位 0.65%	9位 0.62%
STATE STREET BANK AND TRUST COMPANY 505001		10位 0.52%	9位 0.66%
JPモルガン証券株式会社				7位 1.16%	10位 0.71%	8位 1.09%
株式会社SBI証券				10位 0.68%
UBS AG LONDON A⁄C IPB SEGREGATED CLIENT ACCOUNT					9位 0.72%
三菱UFJモルガン・スタンレー証券株式会社						10位 0.77%
MSIP CLIENT SECURITIES							10位 0.68%		10位 0.59%
STATE STREET BANK AND TRUST COMPANY 505103								10位 0.64%
株式会社日本カストディ銀行(信託口5)										7位 0.95%	6位 1.42%
GOVERNMENT OF NORWAY										8位 0.94%	9位 0.85%		8位 1.12%	10位 1.01%	10位 1.07%
株式会社日本カストディ銀行(信託口6)										9位 0.84%	10位 0.76%
クレディ・スイス証券株式会社										10位 0.81%
DFA INTL SMALL CAP VALUE PORTFOLIO											8位 0.92%	5位 1.99%	5位 2.02%	5位 1.95%	5位 1.88%	8位 1.43%	6位 1.59%	7位 1.37%
日本トラスティ・サービス信託銀行株式会社(信託口)												6位 1.54%	4位 2.25%	4位 2.33%	4位 2.42%	4位 1.85%	3位 2.29%	3位 2.5%	3位 3.93%	3位 3.17%	4位 2.14%	5位 1.01%	3位 1.29%	3位 0.82%
資産管理サービス信託銀行株式会社(証券投資信託口)												8位 1.41%	10位 0.84%	8位 1.31%	6位 1.62%	5位 1.75%	7位 1.48%
日本トラスティ・サービス信託銀行株式会社(信託口5)												9位 1.39%	7位 1.35%	7位 1.33%	9位 1.32%	9位 1.3%	9位 1.29%	8位 1.27%	9位 0.68%	9位 0.66%				8位 0.37%
日本トラスティ・サービス信託銀行株式会社(信託口1)												10位 0.72%	9位 0.88%									10位 0.43%	9位 0.42%
日本マスタートラスト信託銀行株式会社(従業員持株ESOP信託口・75722口)														9位 1.14%	8位 1.41%	6位 1.63%	5位 1.83%	4位 2.06%	4位 2.3%	4位 2.56%	3位 2.81%	3位 3.04%
吉田知広																10位 0.97%
資産管理サービス信託銀行株式会社(信託B口)																	10位 0.97%
J.P.MORGAN SECURITIES LLC-CLEARING																		9位 0.83%
日本トラスティ・サービス信託銀行株式会社(信託口2)																		10位 0.74%					10位 0.41%	9位 0.36%
CBNY DFA INTL SMALL CAP VALUE PORTFOLIO																			7位 1.33%	7位 1.14%	7位 0.76%	6位 0.79%	4位 0.75%
日本トラスティ・サービス信託銀行株式会社(信託口3)																			8位 0.7%	8位 0.69%				7位 0.38%
奥田一志																			10位 0.64%	10位 0.57%	10位 0.59%	9位 0.59%	7位 0.53%
BNY GCM CLIENT ACCOUNT JPRD AC ISG(FE-AC)																					8位 0.67%
CHASE MANHATTAN BANK GTS CLIENTS ACCOUNT ESCROW																					9位 0.65%	7位 0.76%
一般社団法人全国水産業団体共助会																							6位 0.57%
BARCLAYS CAPITAL SECURITIES LIMITED																							8位 0.45%
JPMCB:CREDIT SUISSE SECURITIES EUROPE-JPY 1007760																								4位 0.46%
CGML PB CLIENT ACCOUNT⁄COLLATERAL																								5位 0.42%
中川原明																								10位 0.36%