| 昭和63年7月 | 東京都八王子市に資本金3百万円で株式会社レイテックスを設立 |
| 平成2年7月 | Chapman社製非接触表面粗さ計の販売を開始 |
| 平成5年5月 | E+H社製ウェーハ形状測定器の販売を開始 |
| 平成6年1月 | 本社を東京都国分寺市に移転 |
| 平成7年6月 | 本社を東京都多摩市に移転 |
| 平成7年12月 | ウェーハエッジ欠陥自動検査装置「EdgeScan」の開発を開始 |
| 平成8年5月 | ウェーハエッジ欠陥自動検査装置「EdgeScan」の販売を開始(自社開発第1弾) |
| 平成9年3月 | ディスク用表面粗さセンサーの販売を開始(自社開発第2弾) |
| 平成13年1月 | セキテクノトロン株式会社とウェーハエッジ欠陥自動検査装置の総代理店契約を締結 |
| 平成13年4月 | ウェーハ裏面自動検査装置「BackScan」の販売を開始(自社開発第3弾) |
| 平成13年7月 | ウェーハトポグラフィー測定検査装置「DynaSearch」の販売代理権を獲得 |
| 平成14年7月 | ウェーハトポグラフィー測定検査装置「DynaSearch」の機能向上を目指し自社開発を開始 |
| 平成15年1月 | ウェーハエッジ裏面複合検査装置「EdgeScan B+plus」の販売を開始 |
| 平成15年3月 | 福島県福島市に福島オフィスを開設 |
| 平成15年6月 | 福岡県福岡市中央区に九州オフィスを開設 |
| 平成15年7月 | Therma-Wave社製薄膜測定装置及びイオンドーズモニターの販売を開始 |
| 平成15年7月 | 米国オレゴン州に RAYTEX USA CORPORATION を設立 |
| 平成15年10月 | 中間工程向けウェーハ全面検査装置を発表(自社開発第4弾) |
| 平成15年10月 | ウェーハトポグラフィー測定検査装置「DynaSearch XP」(自社開発版)を発表 |
| 平成16年4月 | 株式会社東京証券取引所マザーズに株式を上場 |
| 平成16年6月 | ウェーハトポグラフィ測定検査装置「DynaSearch」に関する特許権・商標権の取得 |
| 平成16年8月 | 台湾 台北市に台湾オフィスを開設 |
| 平成16年9月 | KLA-Tencor社より、ウェーハ測定検査機「NanoPro NP1」に関する特許権・商標権の取得 |
| 平成16年9月 | セキテクノトロン株式会社とウェーハエッジ欠陥自動検査装置の総代理店契約を解除 |
| 平成16年10月 | ウェーハエッジ欠陥検査装置「EdgeScan plus」の販売を開始 |
| 平成16年10月 | 韓国 京畿道龍仁市に韓国オフィスを開設 |
| 平成17年5月 | ウェーハエッジ・裏面多機能検査装置の販売を開始 |
| 平成18年1月 | 品質マネジメントシステムの国際規格ISO9001:2000認証取得 |
| 平成18年5月 | ウェーハ測定検査機「NanoPro NP1」の販売を開始 |
| 平成18年7月 | 多摩市落合に新社屋完成、本社移転 |
| 平成19年3月 | 株式交換により、株式会社ナノシステムソリューションズを完全子会社化 |
| 平成19年4月 | 三井金属鉱業株式会社より「ウェーハ内部欠陥検査装置」に関する特許権・商標権の取得 |
| 平成19年7月 | Therma-Wave社との独占販売代理店契約を解除 |
| 平成20年5月 | 丸紅テクノシステム㈱と独占販売代理店契約を締結 |
| 平成20年7月 | フランス・Crolles(クロル)にヨーロッパ支店を設立 |
| 平成20年10月 | Deep Photonics Corporation(米国)と販売代理店契約締結により太陽電池市場に参入 |
| 平成22年7月 | 丸紅テクノシステム㈱と独占販売代理店契約を解除 |
| 平成22年7月 | キヤノンマーケティングジャパン㈱と国内総販売店契約を締結 |
| 平成23年3月 | 株式会社東京証券取引所マザーズ上場廃止 |
| 平成23年3月 | 日本証券業協会が運営するフェニックス銘柄に登録 |
| 平成24年3月 | 第三者割当増資実施 |
| 平成25年6月 | 当社連結子会社株式会社ナノシステムソリューションズの全株式を株式会社ピーエムティーへ譲渡 |