大株主	2026/06	2025/12	2025/06	2024/12	2024/06	2023/12	2023/06	2022/12	2022/06	2021/12	2021/06	2020/12	2020/06	2019/12	2019/06	2018/12	2018/06	2017/12	2017/06	2016/12	2016/06	2015/12	2015/06	2014/12	2014/06
横河電機株式会社	1位 13.04%	1位 13.04%	1位 13.06%	1位 13.06%	1位 13.08%	1位 13.08%	1位 13.1%	1位 13.1%	1位 13.12%	1位 13.13%	1位 13.14%	1位 13.15%	2位 13.15%	2位 13.15%	1位 13.15%	1位 13.15%	1位 13.14%	1位 12.88%	1位 12.88%	1位 12.88%	1位 12.88%	1位 12.88%	1位 12.88%	1位 12.88%	1位 12.88%
UH Partners 2投資事業有限責任組合	2位 7.52%	2位 7.52%
UH Partners 3投資事業有限責任組合	3位 7.37%	3位 7.35%
光通信KK投資事業有限責任組合	4位 6.42%	4位 6.42%
太平電業株式会社	5位 6.29%	7位 3.3%	7位 3.31%	7位 3.31%
西川計測社員持株会	6位 4.79%	6位 4.92%	6位 4.92%	6位 5.27%	6位 5.32%	6位 5.49%	6位 5.42%	5位 5.84%	5位 6.02%	5位 6.12%	5位 5.94%	5位 6.19%	4位 6.05%	4位 6.49%	4位 6.87%	3位 7.22%	3位 7.34%	2位 7.71%	2位 8.21%	2位 8.58%	2位 8.27%	2位 8.31%	2位 8.02%	2位 8.53%	2位 8.24%
ジーエルサイエンス株式会社	7位 3.09%	8位 3.09%	9位 3.09%	9位 3.09%	8位 3.1%	8位 3.1%	8位 3.1%
西川徹	8位 2.95%	5位 6.23%	5位 7.12%	4位 7.12%	4位 7.13%	4位 7.13%	4位 7.14%	4位 7.14%	4位 7.15%	4位 7.16%	3位 7.16%	3位 7.17%	3位 7.17%	3位 7.16%	3位 7.16%	4位 7.15%	4位 7.14%	3位 7%	3位 6.99%	3位 6.98%	3位 6.97%	3位 6.96%	3位 6.95%	3位 6.94%	3位 6.92%
西川隆司	9位 2.43%	9位 2.43%	8位 3.14%	8位 3.14%	7位 4.62%	7位 4.62%	7位 4.62%	6位 4.63%	6位 5.88%	6位 5.88%	6位 5.89%	6位 5.89%	5位 5.89%	5位 5.89%	5位 5.89%	5位 5.89%	5位 5.89%	4位 5.77%	4位 5.77%	4位 5.76%	4位 5.75%	4位 5.74%	4位 5.73%	4位 5.71%	4位 5.7%
エスアイエル投資事業有限責任組合	10位 2.41%	10位 2.41%
株式会社UH Partners2			2位 7.53%		2位 7.54%		2位 7.55%		2位 7.57%		4位 6.85%
光通信株式会社			3位 7.44%	3位 7.44%	3位 7.45%	3位 7.45%	3位 7.45%	3位 7.46%	3位 7.47%	2位 9.9%	2位 9.91%	2位 9.92%
株式会社UH Partners3			4位 7.34%		5位 6.42%		5位 6.33%
株式会社エスアイエル			10位 2.41%	10位 2.41%	9位 2.42%	9位 2.42%	10位 2.41%	9位 2.42%	9位 2.42%
株式会社UHPartners2				2位 7.53%		2位 7.54%		2位 7.56%		3位 7.57%		4位 6.54%
株式会社UHPartners3				5位 6.83%		5位 6.33%		7位 4.26%
日本生命保険相互会社					10位 2.37%	10位 2.37%		10位 2.37%	10位 2.37%	9位 2.37%	9位 2.37%	9位 2.38%	8位 2.38%	7位 2.38%	7位 2.38%	7位 2.37%	7位 2.37%	7位 2.33%	7位 2.33%	7位 2.33%	7位 2.33%	8位 2.33%	8位 2.33%	7位 2.33%	6位 2.38%
株式会社三井住友銀行							9位 2.66%	8位 2.67%	7位 2.67%	7位 2.67%	7位 3.56%	7位 3.57%	6位 3.57%	6位 3.57%	6位 3.57%	6位 3.56%	6位 3.56%	6位 3.49%	6位 3.49%	6位 3.49%	6位 3.49%	6位 3.49%	6位 3.49%	5位 3.49%	5位 3.49%
STATE STREET BANK AND TRUST CLIENT OMNIBUS ACCOUNT OM02 505002									8位 2.52%	8位 2.53%	8位 2.53%	8位 2.53%	7位 2.53%	9位 2.02%
重田康光										10位 2.28%	10位 2.28%	10位 2.29%	9位 2.29%	8位 2.29%	8位 2.29%	8位 2.28%	8位 2.28%	8位 2.24%	8位 2.24%
株式会社ブロードピーク													1位 13.17%	1位 13.17%	2位 12.07%	2位 10.94%
下中佳生													10位 2.03%	10位 1.99%	9位 1.87%	9位 1.87%	9位 1.83%	10位 1.79%
株式会社光通信															10位 1.83%	10位 1.83%	10位 1.83%	11位 1.79%
株式会社インフォサービス																	2位 9.71%	5位 4.86%
西川計測株式会社																		9位 1.97%
CGML PB CLIENT ACCOUNT⁄COLLATERAL																			5位 5.21%	5位 5.21%	5位 5.38%	5位 5.33%	5位 4.32%	8位 2.22%
日本瓦斯株式会社																			9位 1.71%	8位 1.71%	8位 1.71%	9位 1.71%	10位 1.71%		8位 1.71%
株式会社ムロコーポレーション																			10位 1.68%	9位 1.68%	9位 1.68%	10位 1.68%			9位 1.68%
竹内理人																				10位 1.6%
日本トラスティ・サービス信託銀行株式会社(信託口)																					10位 1.61%		9位 1.85%	10位 1.89%
株式会社SBI証券																						7位 2.63%	7位 2.8%	6位 2.38%
竹田和平																								9位 2.03%	7位 2.3%
日本興亜損害保険株式会社																									10位 1.45%