会社名	住所	資本金又は 出資金 (百万円)	主要な事業	議決権の 所有割合(%)	関係内容
					営業上の取引	役員の 兼任等	資金 援助	設備の 賃貸借
(連結子会社)
アルバックテクノ㈱	神奈川県茅ヶ崎市	125	真空機器事業	100.0	当社製品の販売・カスタマーサポート	あり	なし	あり
アルバック機工㈱ (注)5	宮崎県西都市	280	真空機器事業	100.0	同社製品の仕入	あり	あり	あり
アルバック販売㈱ (注)5	東京都港区	90	真空機器事業 真空応用事業	100.0 (33.0)	当社製品の販売	あり	なし	あり
ULVAC Technologies,Inc. (注)5	米国マサチュー セッツ州	千US$ 17,580	真空機器事業	100.0	当社製品の販売	あり	なし	なし
ULVAC KOREA,Ltd.	韓国平澤市	千WON 8,144,460	真空機器事業	100.0 (17.5)	当社製品の製造・販売・カスタマーサポート	あり	あり	なし
ULVAC TAIWAN INC.	台湾新竹市	千NT$ 498,000	真空機器事業	100.0 (10.0)	当社製品の製造・販売・カスタマーサポート	あり	なし	なし
アルバック・クライオ㈱ (注)3	神奈川県茅ヶ崎市	50	真空機器事業	50.0	同社製品の仕入	あり	あり	あり
アルバック・ファイ㈱	神奈川県茅ヶ崎市	100	真空応用事業	100.0	当社からの製品の仕入	あり	あり	あり
ULVAC SINGAPORE PTE LTD	シンガポール	千SG$ 8,300	真空機器事業	92.8 (37.8)	当社製品の販売・カスタマーサポート	あり	なし	なし
愛発科真空技術(蘇州)有限公司 (注)5	中国蘇州市	千RMB 246,521	真空機器事業	100.0 (69.4)	当社が販売する真空装置の製造委託等	あり	なし	なし
愛発科東方真空(成都)有限公司	中国成都市	千RMB 85,009	真空機器事業	74.7 (30.6)	当社製品の製造・販売	あり	なし	なし
愛発科東方検測技術(成都)有限公司	中国成都市	千RMB 60,000	真空機器事業	74.7 (74.7)	当社からの製品の仕入	あり	なし	なし
愛発科自動化科技(上海)有限公司	中国上海市	千RMB 25,817	真空応用事業	57.5 (45.0)	同社製品の仕入	あり	なし	なし
愛発科天馬電機(靖江)有限公司	中国靖江市	千RMB 24,830	真空機器事業	60.0 (20.0)	同社製品の仕入	あり	なし	なし
愛発科真空技術(沈陽)有限公司	中国沈陽市	千RMB 129,319	真空機器事業	100.0 (67.1)	当社製品の製造・販売	あり	なし	なし
Physical Electronics USA,Inc.	米国ミネソタ州	US$ 1,000	真空応用事業	100.0 (100.0)	-	あり	なし	なし
ULVAC MALAYSIA SDN.BHD.	マレーシア	千RM 25,000	真空機器事業	96.0 (59.0)	当社製品の販売・カスタマーサポート	あり	あり	なし
愛発科(中国)投資有限公司 (注)5	中国上海市	千RMB 573,000	真空応用事業	100.0	中国事業の管理業務の委託	あり	なし	なし
タイゴールド㈱	神奈川県茅ヶ崎市	99	真空応用事業	90.0	同社製品の仕入	あり	なし	あり
Pure Surface Technology,Ltd. (注)5	韓国平澤市	千WON 26,794,990	真空機器事業 真空応用事業	100.0 (56.2)	当社からの製品の仕入	あり	あり	なし
ULVAC CRYOGENICS KOREA INCORPORATED (注)3	韓国平澤市	千WON 6,145,000	真空機器事業	50.0 (50.0)	当社からの製品の仕入	あり	なし	なし

会社名	住所	資本金又は 出資金 (百万円)	主要な事業	議決権の 所有割合 (%)	関係内容
					営業上の取引	役員の 兼任等	資金 援助	設備の 賃貸借
ULTRA CLEAN PRECISION TECHNOLOGIES CORP.	台湾台南市	千NT$ 341,000	真空機器事業	100.0 (100.0)	当社からの製品の仕入	あり	なし	なし
アルバック成膜㈱	埼玉県秩父市	100	真空応用事業	65.0	当社からの製品の仕入	あり	あり	なし
ULCOAT TAIWAN,Inc.	台湾台南市	千NT$ 512,000	真空応用事業	65.0 (65.0)	当社からの製品の仕入	あり	なし	なし
愛発科商貿(上海)有限公司	中国上海市	千RMB 15,940	真空機器事業 真空応用事業	100.0 (100.0)	当社製品の販売・カスタマーサポート	あり	なし	なし
愛発科真空設備(上海)有限公司	中国上海市	千RMB 5,000	真空機器事業	100.0 (100.0)	当社製品の販売	あり	なし	なし
愛発科電子材料(蘇州)有限公司 (注)5	中国蘇州市	千RMB 165,251	真空応用事業	100.0 (77.9)	当社製品の製造・販売	あり	なし	なし
愛発科成膜技術(合肥)有限公司	中国合肥市	千RMB 80,267	真空応用事業	67.7 (67.7)	当社からの製品の仕入	あり	なし	なし
愛発科費恩斯(南京)儀器有限公司	中国南京市	千RMB 1,500	真空応用事業	100.0 (100.0)	-	あり	なし	なし
(持分法適用関連会社)
㈱昭和真空 (注)4	相模原市中央区	2,177	真空機器事業	21.6	当社からの製品の仕入	なし	なし	なし
ULVAC AUTOMATION TAIWAN Inc.	台湾新北市	千NT$ 80,000	真空応用事業	40.0	同社製品の仕入	あり	なし	なし
寧波愛発科真空技術有限公司	中国寧波市	千RMB 192,493	真空機器事業	49.0	同社製品の仕入	あり	なし	なし

(注)1.「主要な事業」欄には、セグメントの名称を記載しております。
2.「議決権の所有割合」欄の( )内数字は、間接所有割合で内数であります。
3.持分は50%以下でありますが、実質的に支配しているため子会社としております。
4.有価証券報告書を提出している会社であります。
5.特定子会社に該当しております。