研究開発費 - マテリアルプロセシング、研究開発費 - 半導体関連機器事業
- 【期間】
- 通期
2019年3月
- 研究開発費 - マテリアルプロセシング
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- 研究開発費 - 半導体関連機器事業
- 20億9200万
2020年3月
- 研究開発費 - マテリアルプロセシング
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- 研究開発費 - 半導体関連機器事業
- 19億8400万
2021年3月
- 研究開発費 - マテリアルプロセシング
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- 研究開発費 - 半導体関連機器事業
- 20億1100万
2022年3月
- 研究開発費 - マテリアルプロセシング
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- 研究開発費 - 半導体関連機器事業
- 20億6500万
2023年3月
- 研究開発費 - マテリアルプロセシング
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- 研究開発費 - 半導体関連機器事業
- 21億1700万
2024年3月
- 研究開発費 - マテリアルプロセシング
- 24億7800万
- 研究開発費 - 半導体関連機器事業
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2025年3月
- 研究開発費 - マテリアルプロセシング
- 28億1700万
- 研究開発費 - 半導体関連機器事業
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