当社は1947年4月12日に株式会社日之出商会として設立されました。設立後まもなく商号を日製産業株式会社に変更しました。日製産業の名称は、日立製作所の「日」と「製」に因んでおります。
設立当初は、内外有名メーカーの製品販売の商事会社としての方針を明確にし、国内主要都市及び海外主要地域へ逐次営業地域を拡張してまいりました。2001年10月1日に、株式会社日立製作所が吸収分割した計測器事業及び半導体製造装置事業を承継したことにより、製造機能を併せもつ会社となりました。これに伴い、商号を株式会社日立ハイテクノロジーズに変更しました。
設立から現在までの経緯を表示しますと以下の通りであります。

年月	経歴
西暦 年 月
1947. 4	資本金195千円をもって、株式会社日之出商会として、東京都中央区に設立
1947. 10	日製産業株式会社に商号変更
1953. 1	本店所在地を東京都港区に移転
1958. 1	本店所在地を東京都千代田区に移転
1960. 5	ニューヨーク出張所を設置(支店を経て1969年4月アメリカ日製産業Ltd.として独立)
1960. 7	デュッセルドルフ出張所を設置(1964年4月ドイツ日製産業G.m.b.H.として独立、2002年4月Hitachi High-Technologies Europe GmbHに商号変更)
1964. 2	香港駐在所設置(支店を経て1995年4月日製産業香港有限公司として独立、2002年4月日立高科技香港有限公司に商号変更)
1964. 3	本店所在地を東京都港区西新橋二丁目に移転
1965.4	日立計測器サービス㈱を設立(2006年7月㈱日立ハイテクフィールディングに商号変更)
1971. 10	東京証券取引所第二部に上場
1972. 3	シンガポール出張所を設置(1973年4月シンガポール日製産業Pte.Ltd.として独立、2002年4月Hitachi High-Technologies (Singapore) Pte.Ltd.に商号変更)
1972.4	日製石油販売㈱を設立(1989年10月㈱日製メックスに商号変更し、その後2006年7月㈱日立ハイテクマテリアルズに商号変更)
1972. 5	ブラジル日製産業Ltda.を設立(2002年4月Hitachi High-Technologies do Brasil Ltda.に商号変更)
1972. 10	大阪証券取引所第二部に上場
1973.7	㈱日製エレクトロニクスを設立
1980. 4	カナダ日製産業Inc.を設立(2002年4月Hitachi High-Technologies Canada, Inc.に商号変更)
1983. 9	東京証券取引所、大阪証券取引所第一部に上場(2013年7月両現物市場の統合に伴い、大阪証券取引所第一部は東京証券取引所第一部に統合) 日製ソフトウェア㈱を設立(2004年9月㈱日立ハイテクソリューションズに商号変更)
1986. 3	本店所在地を東京都港区西新橋一丁目に移転
1987. 4	日製サービス㈱を設立(2006年4月㈱日立ハイテクサポートに商号変更)
1987. 10	日製エンジニアリング㈱を設立
1993. 4	㈱日製サイエンスを設立
1994. 1	タイランド日製産業Co.,Ltd.を設立(2002年4月Hitachi High-Technologies(Thailand)Ltd.に商号変更)
1994. 10	上海日製産業有限公司を設立(2002年5月日立高新技術(上海)国際貿易有限公司に商号変更)
1998. 1	マレーシア日製産業IPC Sdn. Bhd.を設立(2002年4月Hitachi High-Technologies IPC (Malaysia) Sdn.Bhd.に商号変更)
2001. 10	㈱日立製作所との吸収分割に伴い、商号を㈱日立ハイテクノロジーズに変更、㈱日立サイエンスシステムズ(2006年4月㈱日立ハイテクサイエンスシステムズに商号変更)、日立那珂エレクトロニクス㈱(2006年4月㈱日立ハイテクコントロールシステムズに商号変更)、那珂インスツルメンツ㈱(2003年6月日立那珂インスツルメンツ㈱に商号変更)他4社を子会社化
2002. 1	日製産業貿易(深圳)有限公司を設立(2003年4月日立高新技術(深圳)貿易有限公司に商号変更)
2002. 3	ギーゼッケ・アンド・デブリエント㈱を設立
2002. 4	Hitachi High Technologies America, Inc.を設立(アメリカ日製産業Ltd.、日立インスツルメンツInc.は合併により消滅、H.H.T.A. Semiconductor Equipment Israel, Ltd.他2社を子会社化)
2003. 4	三洋ハイテクノロジー㈱と三洋ハイテクサービス㈱の全株式を取得し、それぞれ㈱日立ハイテクインスツルメンツ及び㈱日立ハイテクインスツルメンツサービスに商号変更
2003. 6	商法特例法に定める委員会等設置会社に移行
2004. 3	日立電子エンジニアリング㈱(2004年4月日立ハイテク電子エンジニアリング㈱に商号変更)の全株式を取得し、他4社を子会社化
2004. 4	日製エンジニアリング㈱と㈱日製エレクトロニクスが合併し、㈱日立ハイテクトレーディングに商号変更(2012年4月㈱日立ハイテクソリューションズに商号変更)
2004. 7	計測テクノロジー㈱と日立那珂インスツルメンツ㈱が合併し、㈱日立ハイテクマニファクチャ&サービスに商号変更
2005. 4	㈱日製サイエンスを吸収合併
2005. 4	Hitachi High-Technologies Korea Co.,Ltd.を設立
2005. 5	日立高科技貿易(上海)有限公司を設立
2005. 9	日立先端科技股份有限公司を設立
2006. 4	日立ハイテク電子エンジニアリング㈱を吸収合併
2007. 4	㈱日立ハイテクサイエンスシステムズを吸収合併
2007. 6	日立ハイテクデーイーテクノロジー㈱と㈱日立ハイテクインスツルメンツサービスが合併し、㈱日立ハイテクエンジニアリングサービスに商号変更(2013年4月㈱日立ハイテクファインシステムズに商号変更)
2010. 4	㈱日立ハイテクインスツルメンツが、㈱ルネサス東日本セミコンダクタの電子装置事業及びこれに付随する事業を吸収分割承継
2011. 3	日立高新技術(上海)国際貿易有限公司が日立高科技貿易(上海)有限公司を吸収合併
2011. 9	PT. Hitachi High-Technologies Indonesiaを設立
2012. 4	㈱日立ハイテクトレーディングと㈱日立ハイテクソリューションズが㈱日立ハイテクトレーディングを存続会社として合併し、㈱日立ハイテクソリューションズに商号変更
2013. 1	エスアイアイ・ナノテクノロジー㈱(㈱日立ハイテクサイエンスに商号変更)の全株式を取得し、他3社を子会社化
2013. 4	ファインテックシステム事業統括本部の全事業を㈱日立ハイテクエンジニアリングサービスに譲渡し、同社は㈱日立ハイテクファインシステムズに商号変更
2013. 4 2013. 4	Chorus Call Asia㈱を設立 Hitachi High-Technologies India Private Limitedを設立
2013. 10	㈱日立ハイテクサイエンスが、当社の分析装置事業の設計及び国内販売機能を吸収分割承継
2013. 10	㈱日立ハイテクコントロールシステムズが、㈱日立ハイテクサイエンス、㈱日立ハイテクソリューションズを承継会社とする吸収分割、㈱日立ハイテクマニファクチャ&サービスを存続会社とする合併を行い、解散
2014. 1	Hitachi High-Technologies RUS Limited Liability Companyを設立
2014. 4	Hitachi High-Technologies Mexico S.A. de C.V.を設立
2014. 6	Hitachi High-Tech AW Cryo, Inc.を設立
2015. 3	㈱日立ハイテクインスツルメンツとの共同新設分割により、ファスフォードテクロノジ㈱を設立して両社の半導体後工程事業を承継させ、同社の全発行済株式を㈱TYホールディングスに譲渡
2015. 9	㈱日立ハイテクインスツルメンツを吸収合併
2016. 9	㈱日立ハイテク九州を設立
2017. 7	Oxford Instruments plcの子会社Materials Analysis Ltd.(Hitachi High-Tech Analytical Science Ltd.に商号変更)他4社の全株式を取得し、子会社化
2018. 5	Smart Factory & Services Holdings (Thailand) Co.,Ltd.を設立
2018. 6	Hitachi High-Tech Amata Smart Services Co.,Ltd.を設立
2019. 1	Applied Physics Technologies Inc.の全株式を取得し、子会社化