(1) 連結子会社

名称	住所	資本金又は 出資金	主要な事業の内容	議決権の所有割合(%)	関係内容
昭和真空機械 (上海)有限公司 (注)2	中国上海市	4,400 千米ドル	真空技術応用装置事業	100.0	当社装置の生産 役員の兼任 5名
昭和真空機械貿易 (上海)有限公司 (注)2	中国上海市	400 千米ドル	サービス事業	100.0	中国における当社装置のサービス・メンテナンス 役員の兼任 5名
株式会社エフ・イー・シー	埼玉県狭山市	12,000 千円	サービス事業	100.0	部品の仕入 役員の兼任 4名

(注) 1.「主要な事業の内容」欄には、セグメント情報に記載された名称を記載しております。
2.特定子会社であります。
3.有価証券届出書又は有価証券報告書を提出している会社はありません。
(2) その他の関係会社

名称	住所	資本金又は 出資金 (千円)	主要な事業の 内容	議決権の 被所有割合 (%)	関係内容
株式会社アルバック (注)	神奈川県 茅ヶ崎市	20,873,042	各種真空諸機械・設備等の製造販売	21.37	・同社製品の仕入を行っている。 ・役員の兼任あり。(2名) ・同社が商標権を有する「ULVACGROUP」を当社が製造・販売する製品に使用する、商標使用契約を締結している。

(注) 有価証券報告書を提出しております。