その他、研究開発費 - モジュール・システム事業
2008年3月
- その他
- 8億5300万
- 研究開発費 - モジュール・システム事業
- -
2009年3月
- その他
- 12億500万
- 研究開発費 - モジュール・システム事業
- -
2010年3月
- その他
- 26億5100万
- 研究開発費 - モジュール・システム事業
- -
2010年12月
- その他
- 37億600万
- 研究開発費 - モジュール・システム事業
- -
2011年3月
- その他
- 45億2000万
- 研究開発費 - モジュール・システム事業
- -
2011年6月
- その他
- 41億8100万
- 研究開発費 - モジュール・システム事業
- -
2011年9月
- その他
- 55億6500万
- 研究開発費 - モジュール・システム事業
- -
2011年12月
- その他
- 54億1900万
- 研究開発費 - モジュール・システム事業
- -
2012年3月
- その他
- 54億5300万
- 研究開発費 - モジュール・システム事業
- -
2012年6月
- その他
- 54億4100万
- 研究開発費 - モジュール・システム事業
- -
2012年9月
- その他
- 58億500万
- 研究開発費 - モジュール・システム事業
- -
2012年12月
- その他
- 63億6700万
- 研究開発費 - モジュール・システム事業
- -
2013年3月
- その他
- 65億400万
- 研究開発費 - モジュール・システム事業
- -
2013年6月
- その他
- 66億5500万
- 研究開発費 - モジュール・システム事業
- -
2013年9月
- その他
- 69億4000万
- 研究開発費 - モジュール・システム事業
- -
2013年12月
- その他
- 68億4700万
- 研究開発費 - モジュール・システム事業
- -
2014年3月
- その他
- 68億7600万
- 研究開発費 - モジュール・システム事業
- -
2014年6月
- その他
- 72億3100万
- 研究開発費 - モジュール・システム事業
- -
2014年9月
- その他
- 69億5500万
- 研究開発費 - モジュール・システム事業
- -
2014年12月
- その他
- 68億1100万
- 研究開発費 - モジュール・システム事業
- -
2015年3月
- その他
- 65億2300万
- 研究開発費 - モジュール・システム事業
- -
2015年6月
- その他
- 61億4600万
- 研究開発費 - モジュール・システム事業
- -
2015年9月
- その他
- 59億100万
- 研究開発費 - モジュール・システム事業
- -
2015年12月
- その他
- 57億8300万
- 研究開発費 - モジュール・システム事業
- -
2016年3月
- その他
- 55億6200万
- 研究開発費 - モジュール・システム事業
- -
2016年6月
- その他
- 52億1000万
- 研究開発費 - モジュール・システム事業
- -
2016年9月
- その他
- 51億200万
- 研究開発費 - モジュール・システム事業
- -
2016年12月
- その他
- 51億4300万
- 研究開発費 - モジュール・システム事業
- -
2017年3月
- その他
- 50億7000万
- 研究開発費 - モジュール・システム事業
- -
2017年6月
- その他
- 49億1500万
- 研究開発費 - モジュール・システム事業
- -
2017年9月
- その他
- 48億8700万
- 研究開発費 - モジュール・システム事業
- -
2017年12月
- その他
- 48億9000万
- 研究開発費 - モジュール・システム事業
- -
2018年3月
- その他
- 50億800万
- 研究開発費 - モジュール・システム事業
- -
2018年6月
- その他
- 49億6600万
- 研究開発費 - モジュール・システム事業
- -
2018年9月
- その他
- 51億7300万
- 研究開発費 - モジュール・システム事業
- -
2018年12月
- その他
- 48億1900万
- 研究開発費 - モジュール・システム事業
- -
2019年3月
- その他
- 51億8100万
- 研究開発費 - モジュール・システム事業
- -
2019年6月
- その他
- 61億1200万
- 研究開発費 - モジュール・システム事業
- -
2019年9月
- その他
- 59億4500万
- 研究開発費 - モジュール・システム事業
- -
2019年12月
- その他
- 60億3900万
- 研究開発費 - モジュール・システム事業
- -
2020年3月
- その他
- 62億9300万
- 研究開発費 - モジュール・システム事業
- -
2020年6月
- その他
- 59億5800万
- 研究開発費 - モジュール・システム事業
- -
2020年9月
- その他
- 62億8500万
- 研究開発費 - モジュール・システム事業
- -
2020年12月
- その他
- 64億6600万
- 研究開発費 - モジュール・システム事業
- -
2021年3月
- その他
- 65億6100万
- 研究開発費 - モジュール・システム事業
- -
2021年6月
- その他
- 61億4000万
- 研究開発費 - モジュール・システム事業
- -
2021年9月
- その他
- 64億1500万
- 研究開発費 - モジュール・システム事業
- -
2021年12月
- その他
- 69億1900万
- 研究開発費 - モジュール・システム事業
- -
2022年3月
- その他
- 82億3700万
- 研究開発費 - モジュール・システム事業
- -
2022年6月
- その他
- 20億3500万
- 研究開発費 - モジュール・システム事業
- -
2022年9月
- その他
- 21億1500万
- 研究開発費 - モジュール・システム事業
- -
2022年12月
- その他
- 20億2200万
- 研究開発費 - モジュール・システム事業
- -
2023年3月
- その他
- 22億4400万
- 研究開発費 - モジュール・システム事業
- 177億5400万
2023年6月
- その他
- 22億5000万
- 研究開発費 - モジュール・システム事業
- -
2023年9月
- その他
- 22億7000万
- 研究開発費 - モジュール・システム事業
- -
2023年12月
- その他
- 22億6800万
- 研究開発費 - モジュール・システム事業
- -
2024年3月
- その他
- 24億5600万
- 研究開発費 - モジュール・システム事業
- 188億6100万
2024年6月
- その他
- 24億900万
- 研究開発費 - モジュール・システム事業
- -
2024年9月
- その他
- 24億700万
- 研究開発費 - モジュール・システム事業
- -
2024年12月
- その他
- 40億4200万
- 研究開発費 - モジュール・システム事業
- -
2025年3月
- その他
- 20億5500万
- 研究開発費 - モジュール・システム事業
- 75億8400万
2025年6月
- その他
- 19億5500万
- 研究開発費 - モジュール・システム事業
- -
2025年9月
- その他
- 19億8300万
- 研究開発費 - モジュール・システム事業
- -
