有価証券報告書-第24期(令和2年4月1日-令和3年3月31日)
| 名称 | 住所 | 資本金 | 主要な事業内容 | 議決権の所有割合 (%) | 関係内容 |
| (連結子会社) V Technology Korea Co.,Ltd. | Cheonan-si, Chungcheongnam-do, Korea | 598百万 ウォン | 検査関連装置の製造・販売及びメンテナンス | 100.0 | 当社製品製造販売受託 役員の兼務無し |
| (連結子会社) V-TEC Co.,Ltd. | Tainan City, Taiwan, R.O.C. | 8,550千 NTドル | 検査関連装置の販売(仲介)及びメンテナンス | 100.0 | 当社製品製造販売受託 役員の兼務無し |
| (連結子会社) Kunshan V Technology Co., Ltd. | ChunXu Road, Kunshan, China | 11,174千 人民元 | 検査関連装置の製造・販売(仲介)及びメンテナンス | 100.0 | 当社製品製造販売受託 債務保証有り |
| (連結子会社) VETON TECH LIMITED | Hong Kong, China | 2,795千 人民元 | 中国における当社製品の受注営業及び新規事業開拓 | 50.0 | 当社製品販売受託 役員の兼務有り |
| (連結子会社) オー・エイチ・ティー株式会社 | 広島県福山市 | 420百万円 | 各種電気検査装置の企画・開発・製造・販売 | 100.0 | 当社製品製造販売受託 役員の兼務有り |
| (連結子会社) 株式会社ブイ・イー・ティー | 神奈川県横浜市保土ヶ谷区 | 490百万円 | 次世代蒸着マスクの製造及び次世代蒸着技術の開発 | 100.0 | 役員の兼務有り 資金援助あり |
| (連結子会社) 株式会社ナノシステムソリューションズ | 沖縄県うるま市 | 90百万円 | 半導体製造装置、検査装置、光学関連機器及び画像解析機器の開発・製造・販売 | 100.0 | 役員の兼務無し |
| その他11社 | |||||
| (持分法適用関連会社) 株式会社日本生産技術研究所 | 神奈川県厚木市 | 80百万円 | 半導体・太陽光パネル製造装置の製造及び販売 | 25.0 | 役員の兼務無し |
| (持分法適用関連会社) Zhejiang Chip Sunshine Equipment Technology Co., Ltd. | Haining, Zhejiang, China | 82,091千 人民元 | 半導体製造装置、半導体ウェハ研磨関連装置の製造・販売等 | 30.0 | 役員の兼務有り |
| (持分法適用関連会社) Xianyang CHVT New Display Technology Co., Ltd. | Xianyang, China | 185,000千 人民元 | 新型ディスプレイ、有機EL照明の製造・販売 | 32.4 | 役員の兼務無し |
(注)連結子会社である、Kunshan V Technology Co.,Ltd.は、2021年1月1日を効力発生日として、連結子会社Kunshan V Technology Co.,Ltd.を存続会社、Shanghai VN Systems Co.,Ltd.を消滅会社とする吸収合併を行いました。