| 昭和61年 3月 | 東京エレクトロン株式会社の子会社で、機器のリースを主要業務としていた株式会社テル・データ・システムが資本金5百万円をもって東京都新宿区に当社の前身であるテル管理サービス株式会社を設立。建物及び建物付属設備の保守管理業務を開始。 |
| 平成 2年 9月 | 社名を東京エレクトロン デバイス株式会社へ変更。同時に従来の業務を東京エレクトロングループ他社へ移管し、新たに外国製半導体を中心とする電子部品の販売を開始。 |
| 平成 2年10月 | 本社を東京都新宿区から神奈川県横浜市緑区 (現 都筑区) に移転。 |
| 平成 3年 1月 | 東京エレクトロン株式会社が株式会社テル・データ・システムから当社株式をすべて取得。 |
| 平成 4年 4月 | 大阪府大阪市淀川区に大阪営業所を開設。 |
| 平成 6年10月 | 愛知県名古屋市西区に名古屋営業所を開設。 |
| 平成 8年10月 | 東京エレクトロン株式会社から電子部品部門の富士通社製品販売事業を譲受け。 |
| 長野県松本市に松本営業所を開設。 |
| 福岡県福岡市博多区に福岡営業所を開設。 |
| 平成 9年10月 | 東京エレクトロン株式会社から電子部品部門のモトローラ社製品販売事業を譲受け。 |
| 茨城県水戸市に水戸営業所を開設。 |
| 平成10年 7月 | 東京エレクトロン株式会社から電子部品部門に関する事業を全て譲受け。 |
| 東京エレクトロン株式会社から岩手県江刺市、東京都府中市及び山梨県韮崎市の設計開発センターを業務移管。 |
| 平成12年 5月 | 東京都立川市に立川営業所を開設。 |
| 東京都府中市の設計開発センターを本社に移転。 |
| 平成13年 5月 | 岩手県江刺市の設計開発センターを仙台市青葉区に移転。 |
| 平成13年10月 | 大阪営業所を大阪支社に組織変更。 |
| 平成14年 5月 | 埼玉県さいたま市中央区に北関東支社を開設。 |
| 宮城県仙台市青葉区に仙台営業所を開設。 |
| 平成14年10月 | 山梨県韮崎市の設計開発センターを本社に統合。 |
| 平成15年 3月 | 東京証券取引所市場第二部に上場。 |
| 平成16年12月 | 愛知県名古屋市中村区に名古屋営業所を移転。 |
| 平成17年 1月 | 香港に現地法人TOKYO ELECTRON DEVICE HONG KONG LTD. (現 TOKYO ELECTRON DEVICE ASIA PACIFIC LTD.) を設立。 |
| 平成18年 9月 | 静岡県三島市に三島営業所を開設。 |
| 静岡県浜松市中区に浜松営業所を開設。 |
| 平成18年10月 | 東京エレクトロン株式会社から吸収分割によりコンピュータ・ネットワーク事業を承継。 |
| 東京都港区に赤坂オフィスを開設。 |
| 東京都府中市に府中オフィスを開設。 |
| 大阪府大阪市淀川区に大阪オフィスを開設。 |
| 平成19年 2月 | 赤坂オフィスを閉鎖し、東京都新宿区に開設した新宿オフィスへ移転。 |
| 平成19年 5月 | 宮城県仙台市青葉区の仙台営業所を宮城県仙台市宮城野区に移転。 |
| 平成19年10月 | 京都府京都市下京区に京都営業所を開設。 |
| 平成20年 1月 | シンガポールに現地法人TOKYO ELECTRON DEVICE SINGAPORE PTE. LTD.を設立。 |
| 平成20年 2月 | 神奈川県横浜市都筑区にパネトロン株式会社を設立。 |
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