| 1986年 3月 | 東京エレクトロン株式会社の子会社で、機器のリースを主要業務としていた株式会社テル・データ・システムが資本金5百万円をもって東京都新宿区に当社の前身であるテル管理サービス株式会社を設立。建物及び建物付属設備の保守管理業務を開始。 |
| 1990年 9月 | 社名を東京エレクトロン デバイス株式会社へ変更。同時に従来の業務を東京エレクトロングループ他社へ移管し、新たに外国製半導体を中心とする電子部品の販売を開始。 |
| 1990年10月 | 本社を東京都新宿区から神奈川県横浜市緑区(現 都筑区)に移転。 |
| 1991年 1月 | 東京エレクトロン株式会社が株式会社テル・データ・システムから当社株式をすべて取得。 |
| 1996年10月 | 東京エレクトロン株式会社から電子部品部門の富士通社製品販売事業を譲受け。 |
| 1997年10月 | 東京エレクトロン株式会社から電子部品部門のモトローラ社製品販売事業を譲受け。 |
| 1998年 7月 | 東京エレクトロン株式会社から電子部品部門に関する事業を全て譲受け。 |
| 東京エレクトロン株式会社から岩手県江刺市、東京都府中市及び山梨県韮崎市の設計開発センターを業務移管。 |
| 2003年 3月 | 東京証券取引所市場第二部に上場。 |
| 2005年 1月 | 香港に現地法人TOKYO ELECTRON DEVICE HONG KONG LTD.(現 TOKYO ELECTRON DEVICE ASIA PACIFIC LTD.)を設立。 |
| 2006年10月 | 東京エレクトロン株式会社から吸収分割によりコンピュータ・ネットワーク事業を承継。 |
| 2008年 1月 | シンガポールに現地法人TOKYO ELECTRON DEVICE SINGAPORE PTE. LTD.を設立。 |
| 2008年 2月 | 神奈川県横浜市都筑区にパネトロン株式会社を設立。 |
| 2008年 8月 | 本社及びパネトロン株式会社を神奈川県横浜市都筑区から神奈川区に移転。 |
| エンジニアリングセンターを神奈川県横浜市都筑区に開設。 |
| 2010年11月 | 神奈川県横浜市都筑区に横浜港北物流センターを開設。 |
| 2010年12月 | 東京証券取引所市場第一部銘柄に指定。 |
| 2012年 4月 | 当社子会社であるパネトロン株式会社が株式会社アムスクからテキサス・インスツルメンツ社製品に係る販売代理店事業を譲受け。 |
| 2012年 8月 | 上海に現地法人TOKYO ELECTRON DEVICE (SHANGHAI) LTD.を設立。 |
| 2013年 9月 | サンノゼに現地法人inrevium AMERICA, INC.(現 TOKYO ELECTRON DEVICE AMERICA, INC.)を設立。 |
| 2014年 4月 | 当社株式売出しにより東京エレクトロン株式会社が当社の親会社からその他の関係会社に変更。 |
| 2014年 9月 | 東京都新宿区に新宿サポートセンターを開設。 |
| 2015年 8月 | バンコクに現地法人TOKYO ELECTRON DEVICE (THAILAND) LIMITEDを設立。 |
| 2016年 4月 | サニーベールに現地法人TOKYO ELECTRON DEVICE CN AMERICA, INC.(現 TOKYO ELECTRON DEVICE AMERICA, INC.)を設立。 |
| 2017年 1月 | 現地法人inrevium AMERICA, INC.(現 TOKYO ELECTRON DEVICE AMERICA, INC.)をサンノゼからフリーモントに移転。 |
| 2017年 7月 | 株式会社アバール長崎(現 東京エレクトロン デバイス長崎株式会社)の株式取得により同社を連結子会社化。 |
| 2018年 7月 | パネトロン株式会社を吸収合併。 |
| 株式会社ファーストの株式取得により同社を連結子会社化。 |
| 2019年 5月 | TOKYO ELECTRON DEVICE AMERICA, INC.がTOKYO ELECTRON DEVICE CN AMERICA, INC.を吸収合併。 |
| 2022年 4月 | 東京証券取引所の市場区分の見直しにより市場第一部からプライム市場へ移行。 |
| 2023年10月 | 日本エレクトロセンサリデバイス株式会社からウェーハ検査装置事業を譲受け。 |
| 2024年10月 | 本社を神奈川県横浜市神奈川区から東京都渋谷区に移転。 |
| 2025年 1月 | 株式会社ファーストを吸収合併。 |
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