研究開発費 - ファクトリーオートメーション、資産の部 - 半導体関連機器事業
- 【期間】
- 通期
2013年3月
2014年3月
2015年3月
- 研究開発費 - ファクトリーオートメーション
- -
- 資産の部 - 半導体関連機器事業
- 113億1700万
2016年3月
2017年3月
- 研究開発費 - ファクトリーオートメーション
- -
- 資産の部 - 半導体関連機器事業
- 180億6800万
2018年3月
- 研究開発費 - ファクトリーオートメーション
- -
- 資産の部 - 半導体関連機器事業
- 266億4300万
2019年3月
- 研究開発費 - ファクトリーオートメーション
- -
- 資産の部 - 半導体関連機器事業
- 272億8100万
2020年3月
2021年3月
- 研究開発費 - ファクトリーオートメーション
- -
- 資産の部 - 半導体関連機器事業
- 251億7500万
2022年3月
- 研究開発費 - ファクトリーオートメーション
- -
- 資産の部 - 半導体関連機器事業
- 339億4800万
2023年3月
- 研究開発費 - ファクトリーオートメーション
- -
- 資産の部 - 半導体関連機器事業
- 479億7100万