名称	住所	資本金	主要な事業の内容	議決権の所有割合(%)	関係内容
(連結子会社) Lasertec U.S.A., Inc. (注)2	米国 カリフォルニア州サンタクララ市	400千米ドル	当社製品の販売及びアフターサービス	100	当社製品の北米地域、欧州地域での販売及びサービス。 役員の兼任あり。
(連結子会社) Lasertec Korea Corp.	韓国 京畿道華城市	300百万ウォン	当社製品の販売支援及びアフターサービス	100	当社製品の韓国での販売支援及びサービス。 役員の兼任あり。
(連結子会社) Lasertec Taiwan, Inc.	台湾 新竹県竹北市	23百万台湾ドル	当社製品の販売支援及びアフターサービス	100	当社製品の台湾及び中国での販売支援並びに台湾でのサービス。 役員の兼任あり。
(連結子会社) Lasertec China Co., Ltd.(注)1.2	中国 上海市	999千米ドル	当社製品のアフターサービス	100 (100)	当社製品の中国でのサービス。 役員の兼任あり。
(連結子会社) Lasertec Singapore Pte. Ltd.(注)3	シンガポール	100千シンガポールドル	当社製品のアフターサービス	100	当社製品のシンガポール及びマレーシアでのサービス。 役員の兼任あり。

(注)1.議決権の所有割合の( )内は、間接所有割合で内数であります。
2.特定子会社に該当しております。
3.当連結会計年度より重要性が増したため、Lasertec Singapore Pte. Ltd.を連結の範囲に含めております。