研究開発費 - 環境・プロセスシステム機器、法人税等の支払額、資産の部 - 半導体システム機器
2008年12月
2009年12月
2010年12月
2012年12月
2013年12月
2014年12月
2015年12月
2016年12月
2017年12月
2018年12月
2019年12月
- 研究開発費 - 環境・プロセスシステム機器
- 15億1900万
- 法人税等の支払額
- -
- 資産の部 - 半導体システム機器
- 483億9700万
2020年12月
- 研究開発費 - 環境・プロセスシステム機器
- 14億7800万
- 法人税等の支払額
- -
- 資産の部 - 半導体システム機器
- 517億5100万
2021年12月
- 研究開発費 - 環境・プロセスシステム機器
- 17億9900万
- 法人税等の支払額
- -
- 資産の部 - 半導体システム機器
- 722億7900万
2022年12月
- 研究開発費 - 環境・プロセスシステム機器
- 18億9300万
- 法人税等の支払額
- -
- 資産の部 - 半導体システム機器
- 975億2800万