研究開発費 - 環境・プロセスシステム機器、法人税等の支払額、有形固定資産及び無形固定資産の増加額 - 半導体
- 【期間】
| 年度 | 研究開発費 - 環境・プロセスシステム機器 | 法人税等の支払額 | 有形固定資産及び無形固定資産の増加額 - 半導体 |
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| 2019/12 | 15.2億 | | - | | - | |
| 2020/12 | 14.8億 | -2.7% | - | | - | |
| 2021/12 | 18億 | +21.7% | - | | - | |
| 2022/12 | 18.9億 | +5.2% | - | | - | |
| 2023/12 | - | | - | | 22.9億 | |
| 2024/12 | - | | - | | 106億 | +362.8% |
