研究開発費 - 環境・プロセスシステム機器、法人税等の支払額、有形固定資産及び無形固定資産の増加額 - 半導体システム機器
- 【期間】
| 年度 | 研究開発費 - 環境・プロセスシステム機器 | 法人税等の支払額 | 有形固定資産及び無形固定資産の増加額 - 半導体システム機器 |
|---|
| 2008/12 | - | | -65億 | | - | |
| 2009/12 | - | | -26.6億 | 赤縮 | - | |
| 2010/12 | - | | -11.4億 | 赤縮 | - | |
| 2012/12 | - | | - | | 18.6億 | |
| 2013/12 | - | | - | | 19.4億 | +4.5% |
| 2014/12 | - | | - | | 27.8億 | +43.2% |
| 2015/12 | - | | - | | 22.6億 | -18.7% |
| 2016/12 | - | | - | | 20.3億 | -10.1% |
| 2017/12 | - | | - | | 44.8億 | +120.6% |
| 2018/12 | - | | - | | 24億 | -46.5% |
| 2019/12 | 15.2億 | | - | | 18.3億 | -23.8% |
| 2020/12 | 14.8億 | -2.7% | - | | 23.9億 | +31.1% |
| 2021/12 | 18億 | +21.7% | - | | 38.7億 | +61.8% |
| 2022/12 | 18.9億 | +5.2% | - | | 32.9億 | -15.1% |
