研究開発費 - 環境・プロセスシステム機器、法人税等の支払額、研究開発費 - 半導体
2019年12月
- 研究開発費 - 環境・プロセスシステム機器
- 15億1900万
- 法人税等の支払額
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- 研究開発費 - 半導体
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2020年12月
- 研究開発費 - 環境・プロセスシステム機器
- 14億7800万
- 法人税等の支払額
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- 研究開発費 - 半導体
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2021年12月
- 研究開発費 - 環境・プロセスシステム機器
- 17億9900万
- 法人税等の支払額
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- 研究開発費 - 半導体
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2022年12月
- 研究開発費 - 環境・プロセスシステム機器
- 18億9300万
- 法人税等の支払額
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- 研究開発費 - 半導体
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2023年12月
- 研究開発費 - 環境・プロセスシステム機器
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- 法人税等の支払額
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- 研究開発費 - 半導体
- 60億4900万