研究開発費 - 環境・プロセスシステム機器、全事業営業利益又は全事業営業損失(△) - 半導体システム機器
2012年12月
2013年12月
2014年12月
2015年12月
2016年12月
2017年12月
2018年12月
2019年12月
- 研究開発費 - 環境・プロセスシステム機器
- 15億1900万
- 全事業営業利益又は全事業営業損失(△) - 半導体システム機器
- 107億2700万
2020年12月
- 研究開発費 - 環境・プロセスシステム機器
- 14億7800万
- 全事業営業利益又は全事業営業損失(△) - 半導体システム機器
- 140億5200万
2021年12月
- 研究開発費 - 環境・プロセスシステム機器
- 17億9900万
- 全事業営業利益又は全事業営業損失(△) - 半導体システム機器
- 280億600万
2022年12月
- 研究開発費 - 環境・プロセスシステム機器
- 18億9300万
- 全事業営業利益又は全事業営業損失(△) - 半導体システム機器
- 420億500万