研究開発費 - 環境・プロセスシステム機器、研究開発費 - 科学システム機器
- 【期間】
- 通期
2019年12月
- 研究開発費 - 環境・プロセスシステム機器
- 15億1900万
- 研究開発費 - 科学システム機器
- 27億900万
2020年12月
- 研究開発費 - 環境・プロセスシステム機器
- 14億7800万
- 研究開発費 - 科学システム機器
- 26億2400万
2021年12月
- 研究開発費 - 環境・プロセスシステム機器
- 17億9900万
- 研究開発費 - 科学システム機器
- 31億2800万
2022年12月
- 研究開発費 - 環境・プロセスシステム機器
- 18億9300万
- 研究開発費 - 科学システム機器
- 39億400万