研究開発費 - 半導体、資産の部 - 環境・プロセスシステム機器
- 【期間】
- 通期
2012年12月
- 研究開発費 - 半導体
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- 資産の部 - 環境・プロセスシステム機器
- 123億1300万
2013年12月
- 研究開発費 - 半導体
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- 資産の部 - 環境・プロセスシステム機器
- 136億7600万
2014年12月
- 研究開発費 - 半導体
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- 資産の部 - 環境・プロセスシステム機器
- 149億2100万
2015年12月
- 研究開発費 - 半導体
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- 資産の部 - 環境・プロセスシステム機器
- 157億1700万
2016年12月
- 研究開発費 - 半導体
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- 資産の部 - 環境・プロセスシステム機器
- 160億7500万
2017年12月
- 研究開発費 - 半導体
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- 資産の部 - 環境・プロセスシステム機器
- 169億5400万
2018年12月
- 研究開発費 - 半導体
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- 資産の部 - 環境・プロセスシステム機器
- 166億6300万
2019年12月
- 研究開発費 - 半導体
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- 資産の部 - 環境・プロセスシステム機器
- 167億2800万
2020年12月
- 研究開発費 - 半導体
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- 資産の部 - 環境・プロセスシステム機器
- 175億1500万
2021年12月
- 研究開発費 - 半導体
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- 資産の部 - 環境・プロセスシステム機器
- 184億4100万
2022年12月
- 研究開発費 - 半導体
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- 資産の部 - 環境・プロセスシステム機器
- 197億1600万
2024年12月
- 研究開発費 - 半導体
- 66億6000万
- 資産の部 - 環境・プロセスシステム機器
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