研究開発費 - 半導体、減価償却費 - 環境・プロセスシステム機器
- 【期間】
- 通期
2012年12月
- 研究開発費 - 半導体
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- 減価償却費 - 環境・プロセスシステム機器
- 3億8500万
2013年12月
- 研究開発費 - 半導体
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- 減価償却費 - 環境・プロセスシステム機器
- 4億4000万
2014年12月
2015年12月
- 研究開発費 - 半導体
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- 減価償却費 - 環境・プロセスシステム機器
- 5億1900万
2016年12月
- 研究開発費 - 半導体
- -
- 減価償却費 - 環境・プロセスシステム機器
- 5億2800万
2017年12月
- 研究開発費 - 半導体
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- 減価償却費 - 環境・プロセスシステム機器
- 5億4700万
2018年12月
- 研究開発費 - 半導体
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- 減価償却費 - 環境・プロセスシステム機器
- 4億8400万
2019年12月
- 研究開発費 - 半導体
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- 減価償却費 - 環境・プロセスシステム機器
- 5億7400万
2020年12月
- 研究開発費 - 半導体
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- 減価償却費 - 環境・プロセスシステム機器
- 6億6200万
2021年12月
- 研究開発費 - 半導体
- -
- 減価償却費 - 環境・プロセスシステム機器
- 7億4700万
2022年12月
- 研究開発費 - 半導体
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- 減価償却費 - 環境・プロセスシステム機器
- 7億2700万
2024年12月
- 研究開発費 - 半導体
- 66億6000万
- 減価償却費 - 環境・プロセスシステム機器
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