研究開発費 - 半導体、のれん - 環境・プロセスシステム機器
- 【期間】
- 通期
2019年12月
- 研究開発費 - 半導体
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- のれん - 環境・プロセスシステム機器
- 2億2600万
2020年12月
- 研究開発費 - 半導体
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- のれん - 環境・プロセスシステム機器
- 1億8400万
2021年12月
- 研究開発費 - 半導体
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- のれん - 環境・プロセスシステム機器
- 1億3700万
2022年12月
2024年12月
- 研究開発費 - 半導体
- 66億6000万
- のれん - 環境・プロセスシステム機器
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