研究開発費 - 半導体、全事業営業利益又は全事業営業損失（△） - 環境・プロセス、有形固定資産及び無形固定資産の増加額 - 環境・プロセスシステム機器
- 【期間】
| 年度 | 研究開発費 - 半導体 | 全事業営業利益又は全事業営業損失（△） - 環境・プロセス | 有形固定資産及び無形固定資産の増加額 - 環境・プロセスシステム機器 |
|---|
| 2012/12 | - | | - | | 7.2億 | |
| 2013/12 | - | | - | | 6.72億 | -6.7% |
| 2014/12 | - | | - | | 11.9億 | +77.2% |
| 2015/12 | - | | - | | 22.6億 | +89.7% |
| 2016/12 | - | | - | | 13.4億 | -40.9% |
| 2017/12 | - | | - | | 6.84億 | -48.8% |
| 2018/12 | - | | - | | 8.88億 | +29.8% |
| 2019/12 | - | | - | | 10.1億 | +13.6% |
| 2020/12 | - | | - | | 17.7億 | +74.9% |
| 2021/12 | - | | - | | 9.82億 | -44.4% |
| 2022/12 | - | | 21億 | | 8.29億 | -15.6% |
| 2023/12 | - | | 24.1億 | +14.8% | - | |
| 2024/12 | 66.6億 | | - | | - | |
