研究開発費 - 半導体、全事業営業利益又は全事業営業損失（△） - 環境・プロセス、全事業営業利益又は全事業営業損失（△） - 環境・プロセスシステム機器
- 【期間】
| 年度 | 研究開発費 - 半導体 | 全事業営業利益又は全事業営業損失（△） - 環境・プロセス | 全事業営業利益又は全事業営業損失（△） - 環境・プロセスシステム機器 |
|---|
| 2012/12 | - | | - | | 16.4億 | |
| 2013/12 | - | | - | | 12.6億 | -23.1% |
| 2014/12 | - | | - | | 20.1億 | +58.9% |
| 2015/12 | - | | - | | 17.7億 | -11.7% |
| 2016/12 | - | | - | | 15.4億 | -13.1% |
| 2017/12 | - | | - | | 10.9億 | -29% |
| 2018/12 | - | | - | | 20.3億 | +85.3% |
| 2019/12 | - | | - | | 17億 | -16.3% |
| 2020/12 | - | | - | | 16.4億 | -3.4% |
| 2021/12 | - | | - | | 19.5億 | +18.8% |
| 2022/12 | - | | 21億 | | 21億 | +7.9% |
| 2023/12 | - | | 24.1億 | +14.8% | - | |
| 2024/12 | 66.6億 | | - | | - | |
