研究開発費 - 半導体、研究開発費 - 科学システム機器
- 【期間】
- 通期
2019年12月
- 研究開発費 - 半導体
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- 研究開発費 - 科学システム機器
- 27億900万
2020年12月
- 研究開発費 - 半導体
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- 研究開発費 - 科学システム機器
- 26億2400万
2021年12月
- 研究開発費 - 半導体
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- 研究開発費 - 科学システム機器
- 31億2800万
2022年12月
- 研究開発費 - 半導体
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- 研究開発費 - 科学システム機器
- 39億400万
2024年12月
- 研究開発費 - 半導体
- 66億6000万
- 研究開発費 - 科学システム機器
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