研究開発費 - デバイス・モジュール、構築物
- 【期間】
- 通期
2008年3月
- 研究開発費 - デバイス・モジュール
- -
- 構築物
- 31億400万
2009年3月
- 研究開発費 - デバイス・モジュール
- -
- 構築物
- 31億9700万
2010年3月
- 研究開発費 - デバイス・モジュール
- -
- 構築物
- 29億4500万
2011年3月
- 研究開発費 - デバイス・モジュール
- -
- 構築物
- 25億7900万
2012年3月
- 研究開発費 - デバイス・モジュール
- -
- 構築物
- 25億1500万
2013年3月
- 研究開発費 - デバイス・モジュール
- -
- 構築物
- 23億6500万
2014年3月
- 研究開発費 - デバイス・モジュール
- -
- 構築物
- 22億7000万
2015年3月
- 研究開発費 - デバイス・モジュール
- -
- 構築物
- 27億9600万
2016年3月
- 研究開発費 - デバイス・モジュール
- -
- 構築物
- 29億1200万
2017年3月
- 研究開発費 - デバイス・モジュール
- -
- 構築物
- 36億8000万
2018年3月
2019年3月
- 研究開発費 - デバイス・モジュール
- -
- 構築物
- 46億100万
2020年3月
- 研究開発費 - デバイス・モジュール
- -
- 構築物
- 61億8600万
2021年3月
- 研究開発費 - デバイス・モジュール
- -
- 構築物
- 69億4100万
2022年3月
- 研究開発費 - デバイス・モジュール
- 734億900万
- 構築物
- 75億4500万
2023年3月
- 研究開発費 - デバイス・モジュール
- 848億100万
- 構築物
- 75億2900万
2024年3月
- 研究開発費 - デバイス・モジュール
- 887億5300万
- 構築物
- 76億100万