研究開発費 - 環境・プロセスシステム機器、法人税等の支払額、全事業営業利益又は全事業営業損失（△） - 半導体システム機器
- 【期間】
| 年度 | 研究開発費 - 環境・プロセスシステム機器 | 法人税等の支払額 | 全事業営業利益又は全事業営業損失（△） - 半導体システム機器 |
|---|
| 2008/12 | - | | -65億 | | - | |
| 2009/12 | - | | -26.6億 | 赤縮 | - | |
| 2010/12 | - | | -11.4億 | 赤縮 | - | |
| 2012/12 | - | | - | | 22.7億 | |
| 2013/12 | - | | - | | 48.2億 | +111.7% |
| 2014/12 | - | | - | | 64.6億 | +34.1% |
| 2015/12 | - | | - | | 94.4億 | +46.2% |
| 2016/12 | - | | - | | 96.8億 | +2.5% |
| 2017/12 | - | | - | | 156億 | +61.6% |
| 2018/12 | - | | - | | 171億 | +9.1% |
| 2019/12 | 15.2億 | | - | | 107億 | -37.1% |
| 2020/12 | 14.8億 | -2.7% | - | | 141億 | +31% |
| 2021/12 | 18億 | +21.7% | - | | 280億 | +99.3% |
| 2022/12 | 18.9億 | +5.2% | - | | 420億 | +50% |
