男性10名 女性-名 (役員のうち女性の比率-%)
| 役名 | 職名 | 氏名 | 生年月日 | 略歴 | 任期 | 所有株式数 (株) |
代表取締役 社長 | - | 杉本 重人 | 昭和33年7月9日生 | | 昭和56年4月 | 株式会社測機舎(現株式会社トプコン)入社 | 平成8年4月 平成9年12月 | 同社計測営業部 部長 当社代表取締役社長(現任) | | 平成17年6月 | 株式会社ブイ・イメージング・テクノロジー代表取締役社長 | | 平成27年12月 | 威東新技有限公司董事(現任) |
| 注3 | 519,300 |
| 専務取締役 | - | 梶山 康一 | 昭和27年2月24日生 | | 昭和49年4月 | 株式会社小松製作所(現コマツ株式会社)入社 | | 昭和61年10月 | アドモンサイエンス株式会社代表取締役社長 | | 平成11年10月 | イノテック株式会社入社 | | 平成12年2月 | 当社入社 技術顧問 | | 平成12年4月 | 取締役 技術担当 | 平成14年5月 平成16年6月 | 常務取締役 開発部長 常務取締役 生産管理、開発及び技術担当 | | 平成17年10月 | 常務取締役 開発、技術担当 | | 平成17年12月 | 常務取締役 開発担当 | | 平成19年7月平成26年2月 | 専務取締役 開発担当 株式会社VPT取締役(現任) | | 平成27年6月 | 当社専務取締役第一開発担当(現任) |
| 注3 | 14,500 |
| 常務取締役 | 第三研究開発部長 | 米澤 良 | 昭和33年6月28日生 | | 昭和56年4月 | 日本自動制御株式会社(現レーザーテック株式会社)入社 | | 平成8年3月 | 同社技術二部長 | | 平成13年3月 | 同社技術一部ゼネラルマネージャー | | 平成13年9月 | 同社取締役 | | 平成18年7月 | 同社常務取締役第二事業部長 | | 平成19年9月 | 同社取締役兼常務執行役員、第二事業部第一部長 | | 平成21年7月 | 同社先端技術部長 | | 平成23年1月 | 同社常務取締役、技術本部副本部長、先端開発室長 | | 平成24年9月 | 同社常務取締役、先端開発室長 | | 平成25年9月 | 同社先端開発室長 | | 平成26年12月 | 当社入社、執行役員 | | 平成27年6月 | 当社常務取締役第二開発担当兼 第三研究開発部長(現任) |
| 注3 | - |
| 役名 | 職名 | 氏名 | 生年月日 | 略歴 | 任期 | 所有株式数 (株) |
| 取締役 | 調達本部長 | 勝原 隆 | 昭和26年4月24日生 | | 昭和49年4月 | 株式会社伊藤忠データシステム入社 | | 平成元年10月 | イノテック株式会社に転籍 | | 平成9年4月 | アドモンサイエンス株式会社専務取締役 | | 平成12年5月 | 株式会社オーク製作所入社 執行役員 | | 平成16年6月 | 同社取締役 | | 平成19年4月 | 同社取締役 装置カンパニープレジデント | | 平成21年12月 | 当社入社 執行役員営業担当補佐 | | 平成22年6月 | 取締役 営業担当兼V-TEC Co., Ltd. 董事長(現任) | | 平成27年6月 | 株式会社VNシステムズ取締役(現任) 上海微鉄克貿易有限公司(現上海微恩氏貿易有限公司) 董事長 昆山微鉄克光電設備有限公司 董事長(現任) | | 平成27年12月 | 上海微恩氏貿易有限公司 董事(現任) | | 平成28年4月 | 当社取締役調達本部長(現任) |
| 注3 | 1,500 |
| 取締役 | - | 城戸 淳二 | 昭和34年2月11日生 | | 平成元年3月 | 山形大学助手 工学部高分子化学科 | | 平成7年5月 | 同大学助教授 工学部物質工学科 | | 平成8年4月 | 同大学助教授 大学院工学研究科 生体センシング機能工学専攻 | | 平成14年11月 | 同大学教授 工学部機能高分子工学科 | | 平成19年4月 | 同大学教授 大学院理工学研究科有機デバイス工学専攻 | | 平成21年7月 | 同ユウロピウム株式会社代表取締役社長(現任) | | 平成24年4月 | 同大学卓越研究教授 大学院理工学研究科有機デバイス工学専攻(現任) ナチュラルプロセスファクトリー株式会社代表取締役社長(現任) | | 平成27年6月 | 当社社外取締役(現任) オーガニックライティング株式会社取締役(現任) |
| 注1,3 | - |
| 取締役 | - | 天日 和仁 | 昭和34年8月22日生 | | 昭和58年4月 | 日本精工株式会社入社 | | 平成15年6月 | 同社中国精機本部長 | | 平成22年4月 | 同社海外プロジェクトチーム部長 | | 平成23年10月 | 同社直動技術センター試験研究部長 | | 平成26年4月 | NSKテクノロジー株式会社代表取締役社長 | | 平成27年6月 | 株式会社VNシステムズ代表取締役社長(現任) VN Systems Korea Co.,Ltd.董事(現任) VN Systems Taiwan Co.,Ltd.董事長(現任) | | 平成27年8月 | 当社入社、執行役員 | | 平成27年12月 | 上海微恩氏貿易有限公司 董事長(現任) | | 平成28年6月 | 当社取締役(現任) |
| 注3 | 400 |
| 役名 | 職名 | 氏名 | 生年月日 | 略歴 | 任期 | 所有株式数 (株) |
| 常勤監査役 | - | 和田 正 | 昭和23年3月7日生 | | 昭和46年4月 | 日本電気株式会社入社 半導体事業部所属 | | 昭和50年10月 | 山形日本電気株式会社出向 | | 昭和55年7月 | NEC do BRASIL Ltd.出向 | | 平成3年7月 | 鹿児島日本電気株式会社出向 カラー液晶設備技術部長 | | 平成7年1月 | 同社カラーPDP事業準備室長 | | 平成11年7月 | NECエレクトロニクスカンパニー 知的財産部グループマネジャー | | 平成13年7月 | 株式会社NEC特許技術情報センター入社 技術情報部長 | | 平成16年12月 | 当社入社 執行役員技術統括兼生産管理部長 | | 平成20年6月 | 取締役 技術担当兼生産管理担当補佐兼生産管理部長 | | 平成22年1月 | 取締役 技術担当兼生産管理担当補佐兼生産管理部長兼技術管理部長 | | 平成22年6月 | 取締役 生産管理担当兼生産管理部長 | | 平成23年8月 | 取締役 業務担当兼 V Technology Korea Co., Ltd. 理事兼上海微鉄克貿易有限公司(現上海微恩氏貿易有限公司)董事 | | 平成24年11月 | 取締役業務担当兼関係会社管理室長兼 V Technology KoreaCo., Ltd.理事兼上海微鉄克貿易有限公司(現上海微恩氏貿易有限公司) 董事長 | | 平成26年12月 | 昆山微鉄克光電設備有限公司 董事長 | | 平成27年6月 | 当社監査役(現任) |
| 注5 | - |
| 監査役 | - | 大倉 修和 | 昭和19年5月4日生 | | 昭和44年4月 | 伊藤忠商事株式会社入社 | | 平成11年6月 | 同社執行役員エネルギー・化学品カンパニー化学品部門長兼シーアイ化成株式会社取締役 | | 平成12年4月 | 同社執行役員 | | 平成14年6月 | シーアイ化成株式会社取締役兼常務執行役員 | | 平成17年6月 | 西日本シーアイ販売株式会社代表取締役社長 | | 平成19年6月 | シーアイアグロ株式会社代表取締役社長 | | 平成20年4月 | シーアイマテックス株式会社代表取締役社長 | | 平成22年6月 | 同社相談役 | | 平成23年6月 | 当社監査役(現任) |
| 注2,5 | - |
| 役名 | 職名 | 氏名 | 生年月日 | 略歴 | 任期 | 所有株式数 (株) |
| 監査役 | - | 吾田 啓一郎 | 昭和16年5月2日生 | | 昭和39年3月 | 日本生命保険相互会社入社 | | 平成8年3月 | 日本ベンチャーキャピタル株式会社入社 | | 平成8年6月 | 同社常務取締役 | | 平成14年6月 | 同社代表取締役 専務取締役 | | 平成16年6月 | 同社退任 | | 平成16年12月 | ホソカワミクロン株式会社監査役 | | 平成19年6月 | 当社監査役(現任) |
| 注2,4 | - |
| 監査役 | - | 住田 勲勇 | 昭和18年8月21日生 | | 昭和45年4月 | 松下電器産業株式会社入社 | | 平成7年5月 | 北米Plasmaco Inc.転勤 上席副社長 | | 平成15年9月 | NBC株式会社入社 技術顧問 | | 平成20年10月 | 当社入社 執行役員ソーラーシステム事業推進統括 | | 平成22年6月 | 執行役員 企画担当兼企画部長 | | 平成24年4月 | 執行役員 企画担当 | | 平成24年6月 | 当社監査役(現任) |
| 注4 | - |
| | | | 計 | | 535,700 |
(注)1.取締役城戸淳二は社外取締役であります。
2.監査役大倉修和及び吾田啓一郎は、社外監査役であります。
3.平成28年6月24日開催の定時株主総会の終結の時から2年間
4.平成28年6月24日開催の定時株主総会の終結の時から4年間
5.平成27年6月25日開催の定時株主総会の終結の時から4年間