未払費用、災害損失の支払額、株主資本以外の項目の当期変動額（純額）他2件
- 【期間】
| 年度 | 未払費用 | 災害損失の支払額 | 株主資本以外の項目の当期変動額（純額） | のれん - 半導体機器事業 | 繰延税金資産 |
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| 2008/03 | 167百万 | | - | | - | | - | | - | |
| 2009/03 | 184百万 | +10.1% | - | | - | | - | | - | |
| 2010/03 | 125百万 | -31.8% | - | | - | | - | | - | |
| 2011/03 | 135百万 | +8.1% | - | | - | | - | | - | |
| 2012/03 | 145百万 | +7% | -151百万 | | - | | - | | - | |
| 2013/03 | 124百万 | -14.6% | - | | 10.9億 | | - | | - | |
| 2014/03 | 136百万 | +10.1% | - | | 5.51億 | -49.5% | - | | - | |
| 2015/03 | 148百万 | +8.9% | - | | 22.5億 | +307.9% | 210百万 | | - | |
| 2016/03 | 142百万 | -4.2% | - | | -15.8億 | 赤転 | 153百万 | -27% | - | |
| 2017/03 | 140百万 | -1.4% | - | | 0.17億 | 黒転 | 102百万 | -33.3% | - | |
| 2018/03 | 144百万 | +2.9% | - | | -0.3億 | 赤転 | 48百万 | -52.9% | - | |
| 2019/03 | 150百万 | +4.2% | - | | 2.21億 | 黒転 | - | | 759百万 | |
| 2020/03 | 557百万 | +271.3% | - | | -8.03億 | 赤転 | - | | 496百万 | -34.7% |
| 2021/03 | 536百万 | -3.8% | - | | 10.3億 | 黒転 | - | | 436百万 | -12.1% |
| 2022/03 | 590百万 | +10.1% | - | | 11.5億 | +11.5% | - | | 208百万 | -52.3% |
| 2023/03 | 635百万 | +7.6% | - | | 16.6億 | +44.1% | - | | 284百万 | +36.5% |
| 2024/03 | 622百万 | -2% | -39百万 | 赤縮 | 24.1億 | +45.4% | - | | 277百万 | -2.5% |
