減価償却費 - 半導体機器事業、その他
2013年3月
- 減価償却費 - 半導体機器事業
- 3億6033万
- その他
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2014年3月
- 減価償却費 - 半導体機器事業
- 3億7291万
- その他
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2015年3月
- 減価償却費 - 半導体機器事業
- 3億9587万
- その他
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2016年3月
- 減価償却費 - 半導体機器事業
- 3億7000万
- その他
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2017年3月
- 減価償却費 - 半導体機器事業
- 4億6900万
- その他
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2018年3月
- 減価償却費 - 半導体機器事業
- 4億1700万
- その他
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2019年3月
- 減価償却費 - 半導体機器事業
- 5億2300万
- その他
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2020年3月
- 減価償却費 - 半導体機器事業
- 5億4700万
- その他
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2021年3月
- 減価償却費 - 半導体機器事業
- 5億7500万
- その他
- -4000万
2022年3月
- 減価償却費 - 半導体機器事業
- 6億8700万
- その他
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2023年3月
- 減価償却費 - 半導体機器事業
- 7億7400万
- その他
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