減価償却費 - 半導体機器事業、当期変動額合計
- 【期間】
- 通期
2008年3月
- 減価償却費 - 半導体機器事業
- -
- 当期変動額合計
- -1216万
2009年3月
- 減価償却費 - 半導体機器事業
- -
- 当期変動額合計
- -2752万
2010年3月
- 減価償却費 - 半導体機器事業
- -
- 当期変動額合計
- 1566万
2011年3月
- 減価償却費 - 半導体機器事業
- -
- 当期変動額合計
- -1億8315万
2012年3月
2013年3月
- 減価償却費 - 半導体機器事業
- 3億6033万
- 当期変動額合計
- 630万
2014年3月
- 減価償却費 - 半導体機器事業
- 3億7291万
- 当期変動額合計
- -
2015年3月
- 減価償却費 - 半導体機器事業
- 3億9587万
- 当期変動額合計
- -
2016年3月
- 減価償却費 - 半導体機器事業
- 3億7000万
- 当期変動額合計
- -
2017年3月
- 減価償却費 - 半導体機器事業
- 4億6900万
- 当期変動額合計
- -
2018年3月
- 減価償却費 - 半導体機器事業
- 4億1700万
- 当期変動額合計
- -
2019年3月
- 減価償却費 - 半導体機器事業
- 5億2300万
- 当期変動額合計
- -
2020年3月
- 減価償却費 - 半導体機器事業
- 5億4700万
- 当期変動額合計
- -
2021年3月
- 減価償却費 - 半導体機器事業
- 5億7500万
- 当期変動額合計
- -
2022年3月
- 減価償却費 - 半導体機器事業
- 6億8700万
- 当期変動額合計
- -
2023年3月
- 減価償却費 - 半導体機器事業
- 7億7400万
- 当期変動額合計
- -