機械装置及び運搬具（純額）、他勘定振替高、設備投資額 - Energy Saving Solution事業他1件
- 【期間】
| 年度 | 機械装置及び運搬具（純額） | 他勘定振替高 | 設備投資額 - Energy Saving Solution事業 | のれん - 半導体機器事業 |
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| 2008/03 | 25.6億 | | - | | - | | - | |
| 2009/03 | 15億 | -41.5% | 2.7百万 | | - | | - | |
| 2010/03 | 12億 | -20.1% | - | | - | | - | |
| 2011/03 | 13億 | +9% | - | | - | | - | |
| 2012/03 | 21.3億 | +63.1% | - | | - | | - | |
| 2013/03 | 25.7億 | +20.9% | - | | - | | - | |
| 2014/03 | 26億 | +1.2% | - | | - | | - | |
| 2015/03 | 29.5億 | +13.2% | - | | - | | 210百万 | |
| 2016/03 | 25.3億 | -14% | - | | - | | 153百万 | -27% |
| 2017/03 | 21.5億 | -15.2% | - | | - | | 102百万 | -33.3% |
| 2018/03 | 20億 | -6.9% | - | | - | | 48百万 | -52.9% |
| 2019/03 | 18.1億 | -9.7% | - | | - | | - | |
| 2020/03 | 16.3億 | -10% | - | | - | | - | |
| 2021/03 | 18.8億 | +15.4% | - | | - | | - | |
| 2022/03 | 17.3億 | -7.8% | - | | 525百万 | | - | |
| 2023/03 | 21.3億 | +23.3% | - | | 536百万 | +2.1% | - | |
| 2024/03 | 25.9億 | +21.2% | - | | - | | - | |
