(1) 連結子会社の数 27社
主要な連結子会社の名称
東京エレクトロン テクノロジーソリューションズ㈱
東京エレクトロン九州㈱
東京エレクトロン宮城㈱
東京エレクトロンFE㈱
Tokyo Electron America, Inc.
Tokyo Electron Europe Ltd.
Tokyo Electron Korea Ltd.
Tokyo Electron Taiwan Ltd.
Tokyo Electron (Shanghai) Ltd.
Tokyo Electron Singapore Pte. Ltd.