(1) 連結子会社の数 29社
主要な連結子会社の名称
東京エレクトロン テクノロジーソリューションズ㈱
東京エレクトロン九州㈱
東京エレクトロン宮城㈱
東京エレクトロンFE㈱
Tokyo Electron America, Inc.
Tokyo Electron Europe Ltd.
Tokyo Electron Korea Ltd.
Tokyo Electron Taiwan Ltd.
Tokyo Electron (Shanghai) Ltd.
Tokyo Electron Singapore Pte. Ltd.
2020年1月1日付で、TEL Epion Inc.はTEL FSI, Inc.を存続会社とする吸収合併により消滅したため、連結の範囲から除外しております。なお、TEL FSI, Inc.はTEL Manufacturing and Engineering of America, Inc.に名称変更しております。