減価償却費 - 半導体機器事業、研究開発費
- 【期間】
- 通期
2013年3月
- 減価償却費 - 半導体機器事業
- 3億6033万
- 研究開発費
- 6億5576万
2014年3月
- 減価償却費 - 半導体機器事業
- 3億7291万
- 研究開発費
- 9億5727万
2015年3月
- 減価償却費 - 半導体機器事業
- 3億9587万
- 研究開発費
- 10億4532万
2016年3月
- 減価償却費 - 半導体機器事業
- 3億7000万
- 研究開発費
- 11億800万
2017年3月
- 減価償却費 - 半導体機器事業
- 4億6900万
- 研究開発費
- 11億3100万
2018年3月
- 減価償却費 - 半導体機器事業
- 4億1700万
- 研究開発費
- 11億9300万
2019年3月
- 減価償却費 - 半導体機器事業
- 5億2300万
- 研究開発費
- 12億6400万
2020年3月
- 減価償却費 - 半導体機器事業
- 5億4700万
- 研究開発費
- 11億1300万
2021年3月
- 減価償却費 - 半導体機器事業
- 5億7500万
- 研究開発費
- 9億9600万
2022年3月
- 減価償却費 - 半導体機器事業
- 6億8700万
- 研究開発費
- 6億6600万
2023年3月
- 減価償却費 - 半導体機器事業
- 7億7400万
- 研究開発費
- 12億8300万