減価償却費 - 半導体機器事業、新株予約権
- 【期間】
- 通期
2010年3月
- 減価償却費 - 半導体機器事業
- -
- 新株予約権
- 7205万
2011年3月
- 減価償却費 - 半導体機器事業
- -
- 新株予約権
- 1億6522万
2012年3月
- 減価償却費 - 半導体機器事業
- -
- 新株予約権
- 2億5302万
2013年3月
- 減価償却費 - 半導体機器事業
- 3億6033万
- 新株予約権
- 1億3266万
2014年3月
- 減価償却費 - 半導体機器事業
- 3億7291万
- 新株予約権
- 2981万
2015年3月
- 減価償却費 - 半導体機器事業
- 3億9587万
- 新株予約権
- -
2016年3月
- 減価償却費 - 半導体機器事業
- 3億7000万
- 新株予約権
- -
2017年3月
- 減価償却費 - 半導体機器事業
- 4億6900万
- 新株予約権
- 5000万
2018年3月
- 減価償却費 - 半導体機器事業
- 4億1700万
- 新株予約権
- 1億6500万
2019年3月
- 減価償却費 - 半導体機器事業
- 5億2300万
- 新株予約権
- 2億6200万
2020年3月
- 減価償却費 - 半導体機器事業
- 5億4700万
- 新株予約権
- 3億600万
2021年3月
- 減価償却費 - 半導体機器事業
- 5億7500万
- 新株予約権
- 2億700万
2022年3月
- 減価償却費 - 半導体機器事業
- 6億8700万
- 新株予約権
- -
2023年3月
- 減価償却費 - 半導体機器事業
- 7億7400万
- 新株予約権
- 5300万
2024年3月
- 減価償却費 - 半導体機器事業
- -
- 新株予約権
- 1億2000万